特許

J-GLOBAL ID：200903085445079716

圧電振動片および圧電デバイス

発明者： 山田 祥之
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (2件)： 岡▲崎▼ 信太郎 ,  新井 全
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-081501
公開番号（公開出願番号）：特開2006-270177
出願日： 2005年03月22日
公開日（公表日）： 2006年10月05日
要約：

【課題】 圧電振動片を小型化した場合であっても、電極間の短絡を防止しつつ電極の断線を防止し、さらにCI値を低く抑えることができる圧電振動片と、このような圧電振動片を利用した圧電デバイスを提供すること。【解決手段】 圧電材料により形成された基部51と、基部51と一体に形成され、互いに平行に延びる複数の振動腕35,36と、この各振動腕の長手方向に沿って形成された長溝33,34と、この長溝の内面に配置された内面電極44,45、及びこの内面電極に対向する側面に配置された側面電極46,47により形成された励振電極とを備えており、各振動腕35,36の幅寸法が、振動腕35,36の基部51に対する付け根の箇所で、基部51側に向かって拡幅する拡幅部60を有し、この拡幅部60の側面60cおよび主面60dに側面電極46が引き回されている圧電振動片。【選択図】 図3

請求項（抜粋）：

圧電材料により形成された基部と、 前記基部と一体に形成され、互いに平行に延びる複数の振動腕と、 前記各振動腕の長手方向に沿って形成された長溝と、 前記長溝の内面に配置された内面電極、および前記振動腕の前記内面電極に対向する側面に配置された側面電極により形成された励振電極と を備えており、 前記各振動腕の幅寸法が、前記振動腕の前記基部に対する付け根の箇所で、基部側に向かって拡幅する拡幅部を有し、この拡幅部の側面および主面に前記側面電極が引き回されている ことを特徴とする圧電振動片。

IPC (4件)：

H03H 9/19 ,  H03H 9/215 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/18

FI (4件)：

H03H9/19 J ,  H03H9/215 ,  H01L41/08 L ,  H01L41/18 101A

Fターム (12件)：

5J108BB01 ,  5J108BB02 ,  5J108CC06 ,  5J108CC09 ,  5J108EE03 ,  5J108EE07 ,  5J108EE18 ,  5J108FF02 ,  5J108FF11 ,  5J108FF14 ,  5J108GG03 ,  5J108GG17

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 振動片、振動子、発振器及び携帯電話装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-265592   出願人：セイコーエプソン株式会社