走査型光学顕微鏡

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：韮澤弘 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-034733
公開番号（公開出願番号）：特開平9-230246
出願日： 1996年02月22日
公開日（公表日）： 1997年09月05日
要約：

【要約】【課題】照明光の利用効率を向上させたまま、集光素子のNAの拡大、視野数の拡大を可能とし、また、視野数拡大に伴う周辺光量不足もなくす。【解決手段】コリメート光1を複数の集光素子2からなる集光素子板3に入射させ、ビームスプリッタ4を透過してマルチスポットに集光させ、それぞれの集光スポット位置に位置合わせされた複数のピンホールを有するピンホール板5を透過したテレセントリックな射出ビームは、集光位置の直下に配置されたフィールドレンズ6によって対物レンズ系7の瞳に向かって屈曲され、対物レンズ系7を構成する結像レンズ8を介して対物レンズ9の瞳10近傍に入射し、標本面11上にマルチスポットで集光する。標本面11からの検出光は光路を逆進しビームスプリッタ4で反射され、投影光学系12を介して検出系13に入射する。

請求項（抜粋）：

所望の大きさに拡大されたコリメート光を発するレーザ照射光学系と、複数の集光素子が形成された基板と、該集光素子の集光位置にそれぞれ配置された複数のピンホールを備えたピンホール基板と、前記集光位置よりもレーザ側にビームスプリッタを配し、前記ピンホール基板の射出側近傍に焦点距離fが以下の条件(1)を満足する弱正パワーの光学系を配し、前記弱正パワーの光学系よりも標本側に結像レンズと対物レンズとを有する対物レンズ系を配置し、前記弱正パワーの光学系を介した対物レンズ系の像位置が前記ピンホール基板の位置に一致することを特徴とする走査型光学顕微鏡。 0≦(δ・Φ)/(f・f)≦0.02 ・・・(1)ここで、δは前記弱正パワーの光学系の後側(標本側)焦点位置の前記対物レンズ系による投影位置(前記弱正パワーの光学系に像側からテレセントリックに入射する光線が対物レンズ系を介して光軸と交わる位置)と、前記対物レンズ中の実際の瞳位置(対物レンズに物体側からテレセントリックに入射した光線が光軸と交わる位置)とのずれの絶対値、Φは像側の視野数である。

引用特許：

審査官引用 (2件)

共焦点用光スキヤナ
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-015411 出願人：横河電機株式会社
共焦点型光学顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-264076 出願人：ウシオ電機株式会社

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