特許
J-GLOBAL ID：200903085483512881

検査装置

発明者：
関 英憲

関 英憲 について

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脇木 斉

脇木 斉 について


出願人/特許権者：
アジアエレクトロニクス株式会社

アジアエレクトロニクス株式会社 について

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四日市東芝エレクトロニクス株式会社

四日市東芝エレクトロニクス株式会社 について

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株式会社東芝

株式会社東芝 について


代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-372951
公開番号（公開出願番号）：特開2003-172709
出願日： 2001年12月06日
公開日（公表日）： 2003年06月20日
要約：
【要約】【課題】 研磨傷方向とは異なる方向の欠陥を高速かつ自動的に検出する。【解決手段】 まず、方向可変照明装置12を構成する複数の光源の全てを点灯させ、被検査物の全方向照明点灯画像を得る。この全方向照明点灯画像内には、研磨傷と、研磨傷方向とは異なる方向の微細欠陥とが映し出される。この画像から研磨傷方向の判別を行う。研磨傷方向を判別した後、方向可変照明装置12を構成する複数の光源のうち、研磨傷方向の1つ以上の光源を点灯させ、同一の被検査物に対して、研磨傷方向照明点灯画像を得る。この研磨傷方向照明点灯画像内には、研磨傷は映し出されず、微細欠陥のみが映し出される。この画像に基づいて、微細欠陥の検出を行う。
請求項（抜粋）：
第1画像に基づいて、被検査物の表面上に存在する一定方向に延びる研磨傷の方向を判別する第1手段と、前記被検査物に対して前記一定方向から光を照射し、第2画像を得る第2手段と、前記第2画像に基づいて、前記一定方向とは異なる方向に延びる欠陥の検出を行う第3手段とを具備することを特徴とする検査装置。
IPC (2件)：
G01N 21/956 ,  G01B 11/30
FI (2件)：
G01N 21/956 A ,  G01B 11/30 A
Fターム (18件)：
2F065AA49 ,  2F065BB01 ,  2F065CC19 ,  2F065FF04 ,  2F065FF42 ,  2F065GG13 ,  2F065GG17 ,  2F065QQ31 ,  2F065QQ42 ,  2F065RR07 ,  2G051AA51 ,  2G051AA90 ,  2G051AB07 ,  2G051BB01 ,  2G051CA04 ,  2G051EA12 ,  2G051EA14 ,  2G051ED21
引用特許：
審査官引用 (4件)
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