特許
J-GLOBAL ID：200903012547560594
ディスク表面の欠陥検査及び研磨方向認識装置、並びにこれらの使用方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-092600
公開番号（公開出願番号）：特開平10-282013
出願日： 1997年04月10日
公開日（公表日）： 1998年10月23日
要約：
【要約】【課題】 欠陥検出精度に優れた、テ ゙ィスクの表面の欠陥を検査する装置及び方法の提供。及びテ ゙ィスクの研磨方向を検出する装置及び方法の提供。【解決手段】 第一光出射部(2)と、テ ゙ィスク面からの反射光を受光する第一受光部(3)と、水平方向出射角が連続的に変化するように第一光出射部及び第一受光部を含む系とテ ゙ィスクとの相対的位置関係を変える第一移動機構(4)と、前記第一受光部の出力の変化によってテ ゙ィスクの研磨方向を認識する研磨方向認識部(5)と、第二光出射部(12)を有し水平方向出射角が所定範囲内の光のみをテ ゙ィスク面上に照射するように光の照射方向を相対的に変更する照明装置(15)と、その反射光を受光する第二受光部(13)と、第二受光部が被検査範囲を走査するように第二受光部とテ ゙ィスクの相対的な位置関係を変更する第二移動機構(14)と、画像処理部(16)を有するテ ゙ィスク表面欠陥検査装置。及びその使用方法。
請求項（抜粋）：
第一のディスク保持部(1)と、ディスク面に光を出射する第一の光出射部(2)と、ディスク面からの反射光を受光する第一の受光部(3)と、第一の出射光とディスクの研磨方向とがなす水平方向出射角が連続的に変化するように第一の光出射部(2)及び第一の受光部(3)を含む系とディスクとの相対的位置関係を変える第一の移動機構(4)と、前記第一の受光部(3)の出力の変化によってディスクの研磨方向を認識する研磨方向認識部(5)と、第二のディスク保持部(11)と、一つ以上の第二の光出射部(12)を有し出射光と研磨方向とがなす水平方向出射角が所定範囲以内である光のみをディスク面上に照射するように光の照射方向を相対的に変更する照明装置(15)と、ディスク面からの反射光を受光する少なくとも一つの第二の受光部(13)と、前記第二の受光部(13)によってディスク表面の被検査範囲が全て走査されるように第二の受光部(13)とディスクの相対的な位置関係を変更する第二の移動機構(14)と、前記第二の受光部(13)からの信号を処理する画像処理部(16)を有するディスク表面欠陥検査装置。
IPC (4件)：
G01N 21/88
, G01B 11/30
, G11B 5/84
, H01L 21/66
G01N 21/88 G
, G01B 11/30 D
, G11B 5/84 C
, H01L 21/66 J
