特許

J-GLOBAL ID：200903085510737866

エキシマランプ

発明者： 塩崎 優 ,  蕪木 清幸 ,  森本 幸裕 ,  遠藤 真一
出願人/特許権者： ウシオ電機株式会社
代理人 (1件)： 五十畑 勉男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-242314
公開番号（公開出願番号）：特開2008-066095
出願日： 2006年09月07日
公開日（公表日）： 2008年03月21日
要約：

【課題】 シリカガラスよりなる内側管の放電空間と接する表面に紫外線反射膜を設けることにより、内側管に紫外線が吸収されることなく、しかも、内側管の温度上昇を抑えることにより放電ガスの温度上昇をも抑制することがきで、放電空間においてエキシマ分子が効率よく生成され、紫外線の放射出力が大きいエキシマランプを提供することにある。【解決手段】 本発明のエキシマランプは、シリカガラスよりなる内側管13と外側管12を有する放電容器11を備え、放電容器11の内側管13と外側管12との間の空間が放電空間Sであるエキシマランプにおいて、内側管13の放電空間に接した表面に、少なくともシリカ粒子を含む紫外線散乱粒子が粒子状態で保持されてなる紫外線反射膜20が形成されていることを特徴とする。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

シリカガラスよりなる内側管と外側管を有する放電容器を備え、当該放電容器の内側管と外側管との間の空間が放電空間であるエキシマランプにおいて、 前記内側管の放電空間に接した表面に、少なくともシリカ粒子を含む紫外線散乱粒子が粒子状態で保持されてなる紫外線反射膜が形成されていることを特徴とするエキシマランプ。

IPC (2件)：

H01J 65/00 ,  H01J 61/35

FI (2件)：

H01J65/00 A ,  H01J61/35 K

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 特開平4-301357号公報
  

審査官引用 (4件)

• 誘電体バリア放電ランプ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-282776   出願人：ウシオ電機株式会社
• 特開平2-223146
  
• 誘電体バリヤ放電ランプ用放電体、誘電体バリヤ放電ランプ、誘電体バリヤ放電ランプ装置および紫外線照射装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-083287   出願人：東芝ライテック株式会社
• 誘電体バリヤ放電ランプ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-083861   出願人：ウシオ電機株式会社