耐プラズマ性セラミックス部材

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：木下茂
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-159557
公開番号（公開出願番号）：特開2007-326744
出願日： 2006年06月08日
公開日（公表日）： 2007年12月20日
要約：

【課題】ハロゲン系腐食性ガスおよびそのプラズマに対する耐食性に優れ、かつ、体積抵抗率を容易に制御可能であり、半導体・液晶製造装置等、特に、静電チャック等のプラズマ処理装置用の部材として好適に使用することができる耐プラズマ性セラミックス部材を提供する。【解決手段】イットリアに対して2.5体積%以上25体積%以下のタングステンが分散し、開気孔率が0.1%以下であるイットリアセラミックス焼結体の最表面に、気孔率が5%以下であり、純度99.9%以上のイットリア溶射膜を形成する。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

イットリアに対して2.5体積%以上25体積%以下のタングステンが分散し、開気孔率が0.1%以下であるイットリアセラミックス焼結体の最表面に、気孔率が5%以下であり、純度99.9%以上のイットリア溶射膜が形成されていることを特徴とする耐プラズマ性セラミックス部材。

IPC (4件)：

C04B 35/50 , H01L 21/306 , H01L 21/31 , C04B 41/87

FI (4件)：

C04B35/50 , H01L21/302 101G , H01L21/31 C , C04B41/87 J

Fターム (13件)：

5F004AA16 , 5F004BA04 , 5F004BB22 , 5F004BB23 , 5F004BB30 , 5F004DA01 , 5F004DA26 , 5F004DB01 , 5F045AA08 , 5F045BB15 , 5F045EC05 , 5F045EM05 , 5F045EM09

引用特許：

出願人引用 (1件)

静電チャック
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-087933 出願人：太平洋セメント株式会社

前のページに戻る