特許
J-GLOBAL ID：200903042482263267
静電チャック
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高山 宏志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-087933
公開番号（公開出願番号）：特開2003-282693
出願日： 2002年03月27日
公開日（公表日）： 2003年10月03日
要約：
【要約】【課題】 大気雰囲気での溶射により、耐電圧を低下させることなく所望の低い体積抵抗率を安定して得ることができる誘電体層を有し、安定した吸着力を有する静電チャックを提供すること。【解決手段】 少なくともその表面が絶縁体からなる基台2と、基台2の上に形成された電極層3と、大気雰囲気での溶射により電極層3上に形成された誘電体層4とを備えた静電チャック1であって、誘電体層4は、実質的に主成分のAl2O3と抵抗率調整成分とからなり、抵抗率調整成分は、実質的に主成分のTiO2と周期律表5a族金属とからなる。
請求項（抜粋）：
少なくともその表面が絶縁体からなる基台と、該基台の上に形成された電極層と、大気雰囲気での溶射により前記電極層上に形成された誘電体層とを備えた静電チャックであって、前記誘電体層は、実質的に主成分のAl2O3と抵抗率調整成分とからなり、前記抵抗率調整成分は、実質的に主成分のTiO2と周期律表5a族金属とからなることを特徴とする静電チャック。
IPC (6件)：
H01L 21/68
, C23C 4/02
, C23C 4/06
, C23C 4/10
, C23C 4/12
, C23C 4/18
H01L 21/68 R
, C23C 4/02
, C23C 4/06
, C23C 4/10
, C23C 4/12
, C23C 4/18
4K031AA08
, 4K031AB03
, 4K031AB07
, 4K031AB09
, 4K031CB07
, 4K031CB14
, 4K031CB43
, 4K031DA04
, 4K031FA04
, 4K031FA05
, 5F031CA05
, 5F031HA02
, 5F031HA03
, 5F031HA16
, 5F031PA30
