光変調器

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：工業技術院電子技術総合研究所長
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-135228
公開番号（公開出願番号）：特開平11-326853
出願日： 1998年05月18日
公開日（公表日）： 1999年11月26日
要約：

【要約】【課題】本発明は、小さな印加電圧で電気光学結晶導波路内に大きな電界が生じ、大きな光屈折率変化を生じる光変調器及びその製造方法を提供することを目的としている。【解決手段】本発明は光導波路1を上下から変調電極4,6,7で挟み込む構造とし、印加電界のすべての成分が電気光学効果に寄与するようにして、変調電圧の低減を行なう。通常電気光学効果を有する導波路は結晶であるため、金属材料を下部電極とすることは不可能である。そこで下部電極4を導電性結晶材料とし、導波路結晶をその上にヘテロエピタキシャル成長させることにより上記構造を達成する。

請求項（抜粋）：

電極間に電圧を印加して光導波路中に電界を発生し、この電界により結晶の光に対する屈折率が変化する電気光学効果を利用して光導波路部分の屈折率を変化させて光変調を行う光変調器において、下部導電性結晶電極と、該結晶電極の上にヘテロピタキシャル成長した結晶を用いて作成する電気光学効果を有する結晶導波路と、該結晶導波路の上に装荷した上部変調用電極と、からなることを特徴とする光変調器。

IPC (3件)：

G02F 1/035 , G02B 6/12 , G02B 6/13

FI (3件)：

G02F 1/035 , G02B 6/12 J , G02B 6/12 M

引用特許：

審査官引用 (7件)

特開平4-034419
特開平4-110830
特開昭62-154407

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