特許
J-GLOBAL ID:200903085571330599
プラズマディスプレイパネルの製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-173741
公開番号(公開出願番号):特開2001-006536
出願日: 1999年06月21日
公開日(公表日): 2001年01月12日
要約:
【要約】【課題】 簡易な方法で精度の高いパターン形成が可能なプラズマディスプレイパネルの製造方法を提供すること。【解決手段】電極層が形成された基板20上に、第1のガラス材料を含有した非感光性樹脂層21とそれに積層された第2のガラス材料を含有した感光性樹脂層22を設け、所定パターンを有するレジストマスク23を用いて露光して現像することにより感光性樹脂層22に所定のパターンを形成し、その後非感光性樹脂層21及びパターニングされた感光性樹脂層22を同時に焼成することにより第1及び第2の絶縁層25を形成する。
請求項(抜粋):
プラズマディスプレイパネルの一方の基板上に所定パターンの電極層を形成し、その上に第1の絶縁層及び所定パターンの放電領域を制限する第2絶縁層を積層形成するプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、前記電極層が形成された基板上に、第1のガラス材料を含有した非感光性樹脂層とそれに積層された第2のガラス材料を含有した感光性樹脂層を設け、前記感光性樹脂層を所定パターンを有するマスクを用いて露光して現像することにより前記感光性樹脂層に所定のパターンを形成し、その後前記非感光性樹脂層及び前記パターニングされた感光性樹脂層を同時に焼成することにより前記第1及び第2の絶縁層を形成することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
IPC (2件):
FI (2件):
H01J 9/02 F
, H01J 11/02 B
Fターム (12件):
5C027AA05
, 5C027AA09
, 5C040FA01
, 5C040FA04
, 5C040GB03
, 5C040GB14
, 5C040GD09
, 5C040GF19
, 5C040JA15
, 5C040KA08
, 5C040KA16
, 5C040MA26
引用特許: