特許
J-GLOBAL ID：200903085627734426

有機薄膜蒸着方法

発明者：
岡田 俊弘

岡田 俊弘 について

, 
藤原 昭広

藤原 昭広 について

, 
根本 淳一

根本 淳一 について


出願人/特許権者：
株式会社アルバック

株式会社アルバック について


代理人 (2件)： 北村 欣一 ,  原嶋 成時郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-026904
公開番号（公開出願番号）：特開2005-222729
出願日： 2004年02月03日
公開日（公表日）： 2005年08月18日
要約：
【課題】 大サイズの基板においてもマスクを基板に隙間なく良好に密着させることができるようにする。【解決手段】 ガラス基板1の裏面に接して押えるための押え板4の、ガラス基板1の裏面と接する面の外周部にSUSシート9で覆うようにしてOリング8を設け、SUSシート9、Oリング8を介して押え板4をガラス基板1の裏面に圧接させる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
基板の被蒸着面である表面を下側にして水平に配置し、所定パターン状に開孔された磁性材からなるマスクを前記基板の表面に対して位置合わせして、前記基板の表面と反対側の裏面側に設けた磁石による磁気吸引力で前記マスクを前記基板の表面に密着させた後に、前記基板の表面の下方から蒸発された有機材料を前記マスクの開孔を通して前記基板の表面に蒸着させる有機薄膜蒸着方法において、 前記基板の裏面と前記磁石との間に前記基板の裏面に接して押えるための押え板を有し、前記押え板の前記基板の裏面と接する面の外周部に弾性を有するシール部材を突出するようにして取り付け、 前記基板の表面に前記マスクを密着させるときに、前記シール部材を介して前記押え板を前記基板の裏面に圧接させて、前記押え板の前記シール部材と反対側の面に前記磁石を近接又は当接させる、 ことを特徴とする有機薄膜蒸着方法。
IPC (3件)：
H05B33/10 ,  C23C14/24 ,  H05B33/14
FI (3件)：
H05B33/10 ,  C23C14/24 G ,  H05B33/14 A
Fターム (8件)：
3K007AB18 ,  3K007DB03 ,  3K007FA01 ,  4K029AA09 ,  4K029AA24 ,  4K029BD00 ,  4K029CA01 ,  4K029HA04
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (3件)

前のページに戻る

TOP

BOTTOM