特許

J-GLOBAL ID：200903085681247522

流量制御バルブとこれを用いたマスフローコントローラ

発明者： 石川 亨一 ,  安河内 悟
出願人/特許権者： 株式会社エステック
代理人 (1件)： 藤本 英夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-310190
公開番号（公開出願番号）：特開2000-137527
出願日： 1998年10月30日
公開日（公表日）： 2000年05月16日
要約：

【要約】【課題】 個々の特性が異なっていても煩雑な調節作業を必要とせずにマスフローコントローラに組み込むことができると共にガス流路の開閉制御を可能とする流量制御バルブとこれを用いたマスフローコントローラを提供する。【解決手段】 ガス流路中に設けた流路絞りノズル27と、この流路絞りノズル27の下流側近傍において前記流路を開閉する閉止弁1vと、少なくとも前記流路絞りノズル27の圧力-流量特性データを記録した記憶部1mと、この記憶部1mに記録されたデータを外部から読み出し可能とするインターフェイス1iとを有することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

ガス流路中に設けた流路絞りノズルと、この流路絞りノズルの下流側近傍において前記流路を開閉する閉止弁と、少なくとも前記流路絞りノズルの圧力-流量特性データを記録した記憶部と、この記憶部に記録されたデータを外部から読み出し可能とするインターフェイスとを有することを特徴とする流量制御バルブ。

IPC (4件)：

G05D 7/06 ,  F16K 49/00 ,  F16K 51/00 ,  F17D 1/02

FI (4件)：

G05D 7/06 Z ,  F16K 49/00 B ,  F16K 51/00 Z ,  F17D 1/02

Fターム (28件)：

3H066AA01 ,  3H066BA17 ,  3H066BA21 ,  3H066BA36 ,  3H066BA38 ,  3J071AA02 ,  3J071BB14 ,  3J071CC11 ,  3J071CC12 ,  3J071EE01 ,  3J071EE16 ,  3J071EE24 ,  3J071EE27 ,  5H307AA01 ,  5H307AA20 ,  5H307BB01 ,  5H307DD01 ,  5H307DD06 ,  5H307DD08 ,  5H307EE02 ,  5H307EE36 ,  5H307FF03 ,  5H307FF12 ,  5H307FF15 ,  5H307GG11 ,  5H307GG15 ,  5H307HH12 ,  5H307JJ01

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 圧力式流量制御装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-212330   出願人：大見忠弘, 株式会社フジキン
• センサ処理装置及びシステム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-124837   出願人：日本航空電子工業株式会社
• 特開昭3-137416
  
• 特開平4-217013
  

審査官引用 (4件)

• 圧力式流量制御装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-212330   出願人：大見忠弘, 株式会社フジキン
• センサ処理装置及びシステム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-124837   出願人：日本航空電子工業株式会社
• 特開昭3-137416
  
• 特開平4-217013