特許
J-GLOBAL ID：200903047598414124
圧力式流量制御装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
杉本 丈夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-212330
公開番号（公開出願番号）：特開平10-055218
出願日： 1996年08月12日
公開日（公表日）： 1998年02月24日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 流量制御装置の制御精度を高め且つ装置の小形化を図ると共に、流量測定の可能な条件が崩れると、手動操作に切替えたり或いは自動的に流量制御装置の作動を停止させることにより、高い制御精度を確保する。【解決手段】 オリフィス5の上、下流側に設けたコントロール弁2とオリフィス対応弁9と、オリフィスの上、下流側に設けた一次圧力検出器3と、二次圧力検出器11と、一次圧力検出器の検出圧力P1から、流量をQc=KP1(K1;定数)として演算すると共に、流量指令信号Qsと演算流量Qcとの差を制御信号Qyとして出力する流量演算装置6と、一次圧力/二次圧力の検出圧力比P2/P1を演算する圧力比較演算装置10とから装置を構成し、前記制御信号Qyによって、コントロール弁2を開閉して圧力P1を調節し、オリフィス下流側流量を制御する。
請求項（抜粋）：
オリフィスの上流側絶対圧力P1 と下流側絶対圧力P2 との比P2 /P1 を約0.7以下に保持した状態で流体の流量制御を行なう圧力式流量制御装置に於いて、オリフィス(5)と,オリフィス(5)の上流側に設けたコントロール弁(2)と,オリフィス5の下流側に設けたオリフィス対応弁(9)と、コントロール弁(2)とオリフィス(5)間に設けた一次圧力検出器(3)と,オリフィス(5)の下流側に設けた二次圧力検出器(11)と、一次圧力検出器(3)の検出圧力P1 から流量QcをQc=KP1 (但しKは定数)として演算すると共に、流量指令信号Qsと前記演算した流量信号Qcとの差を制御信号Qyとして前記コントロール弁(2)の駆動部(14)へ出力する流量演算装置(6)と,一次圧力検出器(3)の検出圧力P1 と二次圧力検出器(11)の検出圧力P2 との比P2 /P1 を演算する圧力比較演算装置(10)とから構成され、前記制御信号Qyによるコントロール弁(2)の開閉によりオリフィス上流側圧力P1 を調節し、オリフィス下流側流量を制御することを特徴とする圧力式流量制御装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G05D 7/06 Z
, G05D 16/20 A
