特許
J-GLOBAL ID：200903085708566706
薄膜磁気ヘッド用基板
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-289699
公開番号（公開出願番号）：特開平11-126311
出願日： 1997年10月22日
公開日（公表日）： 1999年05月11日
要約：
【要約】【課題】マーキングに際してばりをできるだけ小さく、また、マイクロクラックをなくして、表示品位を高めた薄膜磁気ヘッド用基板を提供する。【解決手段】イオンミリング、反応性イオンエッチングもしくはケミカルエッチングから選ばれるエッチング法により、深さ0.3μm以下のヘッドトレーサビリティ用マーキングを施して、マーキング周辺に生じるばりを0.1μm以下にした薄膜磁気ヘッド用基板。
請求項（抜粋）：
イオンミリング、反応性イオンエッチングもしくはケミカルエッチングから選ばれるエッチング法により、深さ0.3μm以下のヘッドトレーサビリティ用マーキングを施して、マーキング周辺に生じるばりを0.1μm以下にせしめた薄膜磁気ヘッド用基板。
引用特許：
前のページに戻る
