屈折率測定用センサ及びその製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：八木田茂 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-046861
公開番号（公開出願番号）：特開2003-247936
出願日： 2002年02月22日
公開日（公表日）： 2003年09月05日
要約：

【要約】【課題】入射角度に依存することなく表面プラズモン共鳴現象を用いて物質の屈折率を測定することができ、かつ、同時に回折光によっても物質の屈折率を測定することができる屈折率測定用センサ及びその製造方法を提供すること。【解決手段】本発明に係る屈折率測定用センサは、ガラス製基板上に、表面が金属でコーティングされた同じサイズの複数のシリカ粒子を周期的に配列してなる多層膜を備え、前記多層膜内のシリカ粒子間に測定すべき物質が入り得る隙間を有することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

ガラス製基板上に、表面が金属でコーティングされた同じサイズの複数のシリカ粒子を周期的に配列してなる多層膜を備え、前記多層膜内のシリカ粒子間に測定すべき物質が入り得る隙間を有することを特徴とする屈折率測定用センサ。

IPC (2件)：

G01N 21/27 , G01N 21/47

FI (2件)：

G01N 21/27 C , G01N 21/47 A

Fターム (5件)：

2G059AA02 , 2G059BB04 , 2G059EE02 , 2G059GG10 , 2G059KK01

引用特許：

審査官引用 (1件)

センサおよびこれを利用した測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-136994 出願人：株式会社日立製作所

引用文献：

審査官引用 (4件)

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