特許
J-GLOBAL ID：200903085789841501

2つの保持リングを備えたベルト研磨装置

発明者：
オウクザーズ・アレク

オウクザーズ・アレク について

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ボイド・ジョン

ボイド・ジョン について

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キストラー・ロッド

キストラー・ロッド について


出願人/特許権者：
ラム リサーチ コーポレーション

ラム リサーチ コーポレーション について


代理人 (1件)： 特許業務法人明成国際特許事務所
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-551131
公開番号（公開出願番号）：特表2004-516665
出願日： 2001年12月21日
公開日（公表日）： 2004年06月03日
要約：
【課題】【解決手段】化学機械研磨プロセスにおける縁部性能を改善するための発明が開示されている開示されている。そのシステムは、ウエハの上方に配置されたウエハヘッドを備えており、ウエハ(402)ヘッドは、伸長および収縮可能な第1の能動保持リング(404)を備えている。ウエハヘッドの下方には、研磨ベルト(412)が配置されており、研磨ベルトの下方には、伸長および収縮可能な第2の能動保持リング(410)を有するプラテン(408)が配置されている。動作中、第1の能動保持リングおよび第2の能動保持リングは、研磨ベルトの位置制御を実現するよう制御されることにより、ウエハの縁部における除去率を調節および制御することが可能である。【選択図】図4A
請求項（抜粋）：
化学機械研磨利用の際の縁部性能を改善するための方法であって、 第1の能動保持リングを有するウエハヘッドを準備する工程であって、ウエハは前記ウエハヘッドの下方に配置される工程と、 第2の能動保持リングを有するプラテンを準備する工程と、 前記第1の能動保持リングを伸長すると共に、前記第2の能動保持リングを収縮する工程と、 前記第2の能動保持リングを伸長すると共に、前記第1の能動保持リングを収縮する工程と、を備える方法。
IPC (2件)：
H01L21/304 ,  B24B37/04
FI (3件)：
H01L21/304 622G ,  H01L21/304 622F ,  B24B37/04 E
Fターム (4件)：
3C058AA07 ,  3C058AB04 ,  3C058CB01 ,  3C058DA17
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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