特許

J-GLOBAL ID：200903085832735478

物体を修正する機器および方法

発明者： ホプキンズ、バリー・エフ. ,  レイ、デイビッド・ジェイ. ,  レクレール、ジェフリー・イー. ,  ホワイト、ロイ
出願人/特許権者： レイブ・エルエルシー
代理人 (12件)： 鈴江 武彦 ,  河野 哲 ,  中村 誠 ,  蔵田 昌俊 ,  峰 隆司 ,  福原 淑弘 ,  白根 俊郎 ,  村松 貞男 ,  野河 信久 ,  砂川 克 ,  橋本 良郎 ,  風間 鉄也
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-554178
公開番号（公開出願番号）：特表2008-532778
出願日： 2006年02月02日
公開日（公表日）： 2008年08月21日
要約：

【課題】物体を修正する機器および方法【解決手段】方法および機器は、表面上の特定の場所に反応物質を位置決めすることと、次いで、表面を修正して材料を除去するかまたは材料を加えるように、エネルギ源を装置から反応物質へ方向付けることと、を含む。【選択図】 図1A〜1D

請求項（抜粋）：

物体を修正する方法であって、 試料に反応物質を位置決めすることと、 前記反応物質に向けてエネルギを方向付けることと、 を備え、 前記エネルギは、前記試料を修正するために前記反応物質と共に構成される方法。

IPC (5件)：

B82B 3/00 ,  H01L 21/302 ,  G01N 13/10 ,  H01L 21/306 ,  G03F 1/08

FI (5件)：

B82B3/00 ,  H01L21/302 201B ,  G01N13/10 K ,  H01L21/306 Z ,  G03F1/08 W

Fターム (15件)：

2H095BD33 ,  2H095BD34 ,  2H095BD40 ,  5F004EA38 ,  5F004EA39 ,  5F043AA02 ,  5F043AA09 ,  5F043AA22 ,  5F043AA31 ,  5F043AA37 ,  5F043BB02 ,  5F043BB15 ,  5F043BB22 ,  5F043BB25 ,  5F043DD08

引用特許：

出願人引用 (10件)

• 米国特許第6,403,388号明細書
  
• 米国特許第6,674,074号明細書
  
• 米国特許第6,827,979号明細書
  
• 米国特許第6,635,311号明細書
  
• 米国特許出願第10/449,685号
  
• 米国特許出願第10/442,188号
  
• 米国特許出願第10/465,794号
  
• 米国特許出願第10/301,843号
  
• 米国特許出願第10/261,663号
  
• 米国特許第6,737,646号明細書
  

審査官引用 (2件)

• ナノメ-タ-或はサブナノメ-タ-領域における固体の表面による或は表面上での位置選択性接触化学反応を行う方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-203495   出願人：ビーエーエスエフアクチェンゲゼルシャフト
• 特許第6395650号