ダイヤモンド積層膜、弾性表面波素子およびEL素子

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：石井陽一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-187289
公開番号（公開出願番号）：特開平7-017795
出願日： 1993年06月30日
公開日（公表日）： 1995年01月20日
要約：

【要約】【目的】自形面をもたず、また、基体との付着強度の極めて高いダイヤモンド薄膜を実現することを目的とする。また、このようなダイヤモンド薄膜を表面波伝搬膜として用いることにより、伝搬特性の良好な弾性表面波素子を提供することを目的とし、さらに、このようなダイヤモンド薄膜を発光体膜として用いることにより、信頼性の高いEL素子を提供することを目的とする。【構成】基体上に下地膜を有し、この下地膜上にダイヤモンド薄膜を有するダイヤモンド積層膜において、下地膜に基体構成元素の少なくとも1種と炭素とを含有させ、下地膜のダイヤモンド薄膜側表面における炭素含有率を基体側表面における炭素含有率よりも大きくする。

請求項（抜粋）：

基体上に下地膜を有し、この下地膜上にダイヤモンド薄膜を有するダイヤモンド積層膜であって、下地膜が基体構成元素の少なくとも1種と炭素とを含有し、下地膜のダイヤモンド薄膜側表面における炭素含有率が基体側表面における炭素含有率よりも大きいことを特徴とするダイヤモンド積層膜。

引用特許：

審査官引用 (7件)

特開平3-215393
特開昭61-106494
特開平4-254584

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