特許

J-GLOBAL ID：200903085872270583

超純水製造システム

発明者： 古川 征弘 ,  奥村 正剛
出願人/特許権者： 栗田工業株式会社
代理人 (1件)： 重野 剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-070330
公開番号（公開出願番号）：特開2004-275881
出願日： 2003年03月14日
公開日（公表日）： 2004年10月07日
要約：

【課題】系内の殺菌処理後、超純水製造システムの運転を再開した際の超純水中の金属濃度が著しく低く、運転再開直後から高純度で安定した水質の超純水を得ることができる超純水製造システムを提供する。【解決手段】サブタンク2内の水は、熱交換装置10、配管12、UV酸化装置20、配管22、イオン交換装置30、配管32及び膜分離装置40を順次に通って処理され、超純水となる。装置10,20,30,40には、各装置を個別に迂回するバイパスライン11,21,31,41が設けられている。殺菌時には、ライン11,21,31を用いて最初に膜分離装置40にのみ殺菌水を流す。その後の熱交換装置10とUV酸化装置20の殺菌時には、殺菌水は膜分離装置40を迂回してライン41を流れる。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

一次純水の貯水用のサブタンクと、 該サブタンク内の水が導入されて超純水を製造する、少なくとも順次に配置されたUV酸化装置、イオン交換装置及び膜分離装置を有する超純水製造器本体と、 該超純水製造器本体により製造された超純水をユースポイントへ送水する供給ラインと、 該ユースポイントを通過した未使用の超純水を前記サブタンクへ戻すリターンラインと を有する超純水製造システムにおいて、 該膜分離装置よりも前段側の装置を迂回して該膜分離装置に殺菌水を流通させる手段と、 該イオン交換装置よりも前段側の装置に殺菌水を流通させ、且つ該前段側装置からの殺菌水を該イオン交換装置及び膜分離装置を迂回させて流通させる手段とを備えたことを特徴とする超純水製造システム。

IPC (7件)：

C02F9/00 ,  B01D65/02 ,  C02F1/32 ,  C02F1/42 ,  C02F1/44 ,  C02F1/50 ,  C02F1/72

FI (21件)：

C02F9/00 502E ,  C02F9/00 502J ,  C02F9/00 502N ,  C02F9/00 502Z ,  C02F9/00 503B ,  C02F9/00 504B ,  B01D65/02 ,  B01D65/02 500 ,  C02F1/32 ,  C02F1/42 A ,  C02F1/44 J ,  C02F1/50 510B ,  C02F1/50 520B ,  C02F1/50 531Q ,  C02F1/50 540B ,  C02F1/50 550B ,  C02F1/50 550H ,  C02F1/50 560C ,  C02F1/50 560D ,  C02F1/50 560E ,  C02F1/72 Z

Fターム (32件)：

4D006GA02 ,  4D006JA71 ,  4D006KA01 ,  4D006KB04 ,  4D006KB11 ,  4D006KC21 ,  4D006KD22 ,  4D006KE24Q ,  4D006PA01 ,  4D006PB02 ,  4D006PC02 ,  4D025AA04 ,  4D025AB02 ,  4D025BB18 ,  4D025BB19 ,  4D025DA04 ,  4D025DA05 ,  4D025DA08 ,  4D037AA03 ,  4D037AB03 ,  4D037BA18 ,  4D037CA03 ,  4D037CA15 ,  4D037CA16 ,  4D050AA01 ,  4D050AB06 ,  4D050BB09 ,  4D050BD03 ,  4D050BD06 ,  4D050CA07 ,  4D050CA08 ,  4D050CA09

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 二次純水製造装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-200992   出願人：栗田工業株式会社
• 超純水製造装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-010433   出願人：栗田工業株式会社
• 超純水製造方法および超純水製造装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-003878   出願人：野村マイクロ・サイエンス株式会社