特許
J-GLOBAL ID：200903085884922373
ノッチ付きウェーハ整列装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
薬師 稔 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-271328
公開番号（公開出願番号）：特開平10-004133
出願日： 1996年09月24日
公開日（公表日）： 1998年01月06日
要約：
【要約】【課題】 カセット内の多数枚のノッチ付きウェーハのノッチ位置がずれて来たものを一定位置に整合させたり、或いは任意の位置に容易に変更することのできるノッチ付きウェーハ整列装置を提供する。【解決手段】 多数のノッチ付きウェーハaのノッチbを同じ向きに整合するため、カセットcの開口下部から露出した各ウェーハaの下部に当接して回転する多数のノッチ検出用ローラ1を回転駆動軸2上に転動可能に並列配備する。そして、各ノッチ検出用ローラ1を回転駆動軸2との間の摩擦力で個別に回転駆動するようにする。
請求項（抜粋）：
ウェーハ収容用のカセットに多数枚並列配備されたノッチ付きウェーハのノッチを同じ向きに揃えるため各ウェーハに当接して駆動されるローラを回転自在に備えたノッチ付きウェーハ整列装置において、カセット内の多数のノッチ付きウェーハの中心より偏心させた位置で、カセット内の多数のノッチ付きウェーハそれぞれに対応する多数のノッチ検出用ローラを回転駆動軸上に転動自在に並列配備し、各ノッチ検出用ローラを回転駆動軸との間の摩擦力で個別に駆動し、ノッチ付きウェーハをカセット内で移動して同じ向きに揃える構成としたことを特徴とするノッチ付きウェーハ整列装置。
引用特許：
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