特許
J-GLOBAL ID：200903085907216277

位置合わせ装置、及びその装置を用いた有機蒸着装置

発明者：
根岸 敏夫

根岸 敏夫 について


出願人/特許権者：
株式会社アルバック

株式会社アルバック について


代理人 (1件)： 石島 茂男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-042634
公開番号（公開出願番号）：特開2002-241924
出願日： 2001年02月20日
公開日（公表日）： 2002年08月28日
要約：
【要約】【課題】一つの真空槽内でカラー表示可能な有機薄膜を形成できる有機蒸着装置を提供する。【解決手段】本発明の有機蒸着装置2は、真空槽11内の有機蒸着源51〜53の上方位置に位置合わせ装置20が配置されている。位置合わせ装置20内にはマスク3が配置されており、そのマスク3の上方に基板8を配置できるように構成されている。また、真空槽11内には観察装置が配置されており、この観察装置によってマスク3と基板3を観察し、移動装置によって相対移動させると、マスク3と基板8とを位置合わせできるようになっている。また、この移動装置により、一つの真空槽11内で三原色に対応する有機薄膜を形成する際に、有機薄膜の形成毎にマスク3と基板8とを相対移動させると、基板8上に三原色に対応する有機薄膜を近接して配置させることができる。その結果、カラー表示可能な有機EL表示装置を製造することができる。
請求項（抜粋）：
マスクを水平に保持できるマスク保持部材と、前記マスク保持部材に保持された前記マスクの上方位置に基板を水平に保持できる基板保持部材と、前記マスク保持部材と基板保持部材とを相対移動させる移動装置と、前記マスク保持部材に保持されたマスクと、前記基板保持部材に保持された基板とを観察する観察装置とを有する位置合わせ装置。
IPC (4件)：
C23C 14/04 ,  C23C 14/12 ,  H05B 33/10 ,  H05B 33/14
FI (4件)：
C23C 14/04 A ,  C23C 14/12 ,  H05B 33/10 ,  H05B 33/14 A
Fターム (10件)：
3K007AB18 ,  3K007DA02 ,  3K007EB00 ,  3K007FA01 ,  4K029BA62 ,  4K029BB03 ,  4K029BC07 ,  4K029BD00 ,  4K029DA03 ,  4K029HA01
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

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