特許

J-GLOBAL ID：200903085955699620

撮像装置及び方法

発明者： アーノン,ドナルド,ドミニク ,  シースラ,クレイグ,マイケル ,  コール,ブライアン,エドワード
出願人/特許権者： テラビュー リミテッド
代理人 (1件)： 伊東 忠彦 (外2名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-563889
公開番号（公開出願番号）：特表2003-525447
出願日： 2001年03月05日
公開日（公表日）： 2003年08月26日
要約：

【要約】画像及び/又はスペクトル情報を得ることのような試料を調査するための技術の範囲を記載する。その技術は、試料の表面より下の深さの連続関数として試料に関する構造の情報を導出する方法、試料内の二つの界面の間に位置する試料の構造の一部分を評価する方法、並びにコントラストを増強する、方法及び迅速な画像収集時間を有する装置を含む。

請求項（抜粋）：

試料を調査する方法であって、 試料の表面を電磁放射のパルスで照射するステップ、 前記試料から反射した前記放射を検出するステップ、及び 前記試料に関する構造の情報を前記試料の表面からの深さの関数として導出するステップ、を含み、 前記パルスは、25GHzから100THzまでの範囲における複数の周波数を有する方法。

IPC (3件)：

G01N 21/17 625 ,  A61B 10/00 ,  G01N 21/35

FI (3件)：

G01N 21/17 625 ,  A61B 10/00 E ,  G01N 21/35 Z

Fターム (26件)：

2G059AA02 ,  2G059AA06 ,  2G059BB12 ,  2G059EE01 ,  2G059EE02 ,  2G059EE05 ,  2G059EE11 ,  2G059FF02 ,  2G059FF04 ,  2G059GG01 ,  2G059GG06 ,  2G059HH01 ,  2G059HH02 ,  2G059HH05 ,  2G059HH06 ,  2G059JJ11 ,  2G059JJ13 ,  2G059JJ14 ,  2G059JJ20 ,  2G059JJ22 ,  2G059KK01 ,  2G059MM01 ,  2G059MM04 ,  2G059MM08 ,  2G059MM09 ,  2G059PP04

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 検査対象物の組成画像をリアルタイムで提供する方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-057176   出願人：ルーセントテクノロジーズインコーポレイテッド