特許
J-GLOBAL ID：200903085968006771
圧電/電歪デバイス
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡邉 一平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-215132
公開番号（公開出願番号）：特開2007-035805
出願日： 2005年07月25日
公開日（公表日）： 2007年02月08日
要約：
【課題】セルの充填液体に対する均一な濡れ性を実現し、液流の乱れを有効に防止して良好な吐出状態を維持すること、及びクラック等の発生を有効に防止することが可能な圧電/電歪デバイスを提供する。【解決手段】電極1のセル側の端面Sを、電極1を挟持するように隣接する2枚の圧電/電歪層(隣接圧電/電歪層)2のセル側の端面Tよりも、内部側に引っ込んだ位置に配設されるように構成し、かつ、電極1のセル側の端面Sと、隣接圧電/電歪層2、2の電極1に接する側の内表面Vとで形成される電極端面側領域4に、少なくとも電極1のセル側の端面Sを被覆する状態でガラスを含有する絶縁層(ガラス絶縁層)5を配設する。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
連通孔を有する基板と、前記基板上に配設された駆動部とを備え、前記駆動部が、側壁、及び前記側壁とともに前記基板の連通孔から外部に連通するセルを形成するように、隣接する前記側壁の上部間を接続する天井壁から構成されてなり、前記側壁が、膜状の電極と圧電/電歪層とが交互に複数層それぞれ積層された圧電/電歪素子から構成され、前記圧電/電歪素子の電界誘起歪みに基づく伸縮変位により前記セルの容積を変化させることが可能な圧電/電歪デバイスであって、
前記電極の前記セル内壁側の端面が、前記電極を挟持するように隣接する2枚の前記圧電/電歪層(隣接圧電/電歪層)の前記セル内壁側の端面よりも、内部側に引っ込んだ位置に配設されるように構成されてなり、かつ、
前記電極の前記セル内壁側の端面と、前記隣接圧電/電歪層の前記電極に接する側の内表面とで形成される電極端面側領域に、少なくとも前記電極の前記セル内壁側の端面を被覆する状態でガラスを含有する絶縁層(ガラス絶縁層)が配設されてなることを特徴とする圧電/電歪デバイス。
IPC (4件)：
H01L 41/083
, H01L 41/187
, B41J 2/045
, B41J 2/055
H01L41/08 N
, H01L41/18 101B
, H01L41/18 101C
, H01L41/18 101D
, H01L41/18 101J
, B41J3/04 103A
2C057AF65
, 2C057AG47
, 2C057BA14
