特許
J-GLOBAL ID:200903047858310638
セル駆動型圧電アクチュエータ、及びセル駆動型圧電アクチュエータの製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
渡邉 一平
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-154940
公開番号(公開出願番号):特開2005-159275
出願日: 2004年05月25日
公開日(公表日): 2005年06月16日
要約:
【課題】クロストークの更なる低減、変位効率の更なる向上、駆動信頼性の向上、実装性の向上、が実現され、近時の印刷機器に求められる解像度、印刷速度等の要望に応え得るインクジェットヘッドの提供。【解決手段】壁部22と、その壁部22によって形成されたセル3と、を有する複数のセル駆動体20を備え、その複数のセル駆動体20の各々が、壁部22において、圧電体14と、少なくとも一対の電極18,19と、からなる圧電作動部4を具備し、その圧電作動部4の変位によってセル3の容積が変化するセル駆動型圧電アクチュエータ1をインクジェットヘッドとして適用する。セル駆動型圧電アクチュエータ1は、少なくとも一対の支持体21を備え、複数のセル駆動体20が互いに完全に独立して少なくとも一対の支持体21を架け渡して連設されるとともに、セル駆動体20と支持体21とが焼成一体化されている。【選択図】図1
請求項(抜粋):
壁部と前記壁部によって形成されたセルとを有する複数のセル駆動体を備え、前記複数のセル駆動体の各々が、前記壁部において、圧電体と少なくとも一対の電極とからなる圧電作動部を具備し、前記圧電作動部の変位によって前記セルの容積が変化するアクチュエータであって、
少なくとも一対の支持体を備え、前記複数のセル駆動体が互いに完全に独立して前記少なくとも一対の支持体を架け渡して連設されるとともに、前記セル駆動体と前記支持体とが焼成一体化されているセル駆動型圧電アクチュエータ。
IPC (7件):
H01L41/09
, B41J2/045
, B41J2/055
, B41J2/16
, H01L41/187
, H01L41/22
, H02N2/00
FI (10件):
H01L41/08 J
, H02N2/00 B
, B41J3/04 103A
, B41J3/04 103H
, H01L41/22 Z
, H01L41/18 101B
, H01L41/18 101C
, H01L41/18 101D
, H01L41/18 101J
, H01L41/08 L
Fターム (13件):
2C057AF07
, 2C057AF52
, 2C057AF65
, 2C057AF93
, 2C057AG12
, 2C057AG44
, 2C057AG48
, 2C057AP02
, 2C057AP16
, 2C057AP22
, 2C057AP24
, 2C057BA03
, 2C057BA14
引用特許:
出願人引用 (2件)
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インクジェットヘッド
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-314257
出願人:シチズン時計株式会社
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特許第3217006号公報
審査官引用 (4件)