特許

J-GLOBAL ID：200903085992695154

導波路型偏光子及びその形成方法

発明者： 深山 靖之 ,  菅又 徹 ,  永田 裕俊
出願人/特許権者： 住友大阪セメント株式会社
代理人 (1件)： 中島 淳 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-070902
公開番号（公開出願番号）：特開2000-266951
出願日： 1999年03月16日
公開日（公表日）： 2000年09月29日
要約：

【要約】【課題】 比較的簡単に製造することができ、光導波路に作用する金属膜が基板や基板表面に形成されたバッファ層等から剥がれにくい導波路型偏光子を得る。【解決手段】 基板上に形成したバッファ層14を削って形成した基板表面を底面とする凹部と、この凹部の内面を被覆する略凹形状の金属膜20aとを備える。

請求項（抜粋）：

電気光学効果を有する基板と、前記基板に形成された光導波路とを含む導波路型偏光子において、前記光導波路の上方又は側方の少なくとも一方に面が形成されるように前記光導波路の近傍に設けられた立体構造部と、偏光子として作用する部分を含むように、前記立体構造部の上面又は底面の少なくとも一方の面と前記立体構造部の側面部分とに連続して形成された金属膜と、からなる導波路型偏光子。

IPC (3件)：

G02B 6/126 ,  G02B 6/13 ,  G02F 1/035

FI (3件)：

G02B 6/12 E ,  G02F 1/035 ,  G02B 6/12 M

Fターム (12件)：

2H047LA21 ,  2H047QA03 ,  2H047TA21 ,  2H079AA13 ,  2H079BA02 ,  2H079CA08 ,  2H079DA03 ,  2H079DA22 ,  2H079DA25 ,  2H079DA26 ,  2H079EA01 ,  2H079HA22

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 光導波路素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-077176   出願人：株式会社ニコン
• 特開昭48-089711
  
• 特開昭48-089711