圧電薄膜素子およびその製造方法、ならびにインクジェットヘッドおよびインクジェット式記録装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：岩橋文雄 , 内藤浩樹 , 永野大介
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-214116
公開番号（公開出願番号）：特開2008-041921
出願日： 2006年08月07日
公開日（公表日）： 2008年02月21日
要約：

【課題】信頼性および耐久性能を高めやすい圧電薄膜素子およびその製造方法、ならびにインクジェットヘッドおよびインクジェット式記録装置を提供すること。【解決手段】基板11と、基板11上に設けられた第1の電極層13と、第1の電極層13上に設けられた圧電体層と、圧電体層上に設けられた第2の電極層19とを備えた圧電薄膜素子20を構成するにあたり、鉛を構成元素とするペロブスカイト型結晶構造の酸化物からなる第1の圧電体層14と、第1の圧電体層14上に設けられて該第1の圧電体層14での空孔17を埋める電気絶縁性酸化物からなる第2の圧電体層18とを上記の圧電体層に含ませる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板と、前記基板上に設けられた第1の電極層と、前記第1の電極層上に設けられた圧電体層と、前記圧電体層上に設けられた第2の電極層とを備えた圧電薄膜素子であって、前記圧電体層は、鉛を構成元素とするペロブスカイト型結晶構造の酸化物からなる第1の圧電体層と、前記第1の圧電体層上に設けられて該第1の圧電体層での空孔を埋める電気絶縁性酸化物からなる第2の圧電体層と、を含むことを特徴とする圧電薄膜素子。

IPC (7件)：

H01L 41/22 , B41J 2/045 , B41J 2/055 , B41J 2/16 , H01L 41/09 , H01L 41/187 , H01L 41/18

FI (6件)：

H01L41/22 Z , B41J3/04 103A , B41J3/04 103H , H01L41/08 J , H01L41/18 101D , H01L41/18 101Z

Fターム (19件)：

2C057AF65 , 2C057AF93 , 2C057AG12 , 2C057AG39 , 2C057AG44 , 2C057AG85 , 2C057AN01 , 2C057AP02 , 2C057AP14 , 2C057AP25 , 2C057AP32 , 2C057AP42 , 2C057AP52 , 2C057AP53 , 2C057AP56 , 2C057AP57 , 2C057AQ02 , 2C057BA04 , 2C057BA14

引用特許：

出願人引用 (2件)

圧電体素子及びこれを用いた圧電アクチュエータ並びにこれを備えたインクジェットプリントヘッド
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-164548 出願人：日立工機株式会社
特許第3666163号公報

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