特許
J-GLOBAL ID：200903086023619676

トレー式ロボットハンド

発明者：
山川 一夫

山川 一夫 について

, 
小澤 義一

小澤 義一 について


出願人/特許権者：
株式会社東京精密

株式会社東京精密 について


代理人 (1件)： 松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-070985
公開番号（公開出願番号）：特開2005-260065
出願日： 2004年03月12日
公開日（公表日）： 2005年09月22日
要約：
【課題】厚さの薄いトレー部を有するとともに低コストのトレー式ロボットハンドを提供すること。【解決手段】トレー式ロボットハンド10を、ロボットハンド基部11とロボットハンドの先端部に形成されたトレー部12とで構成し、ロボットハンド基部11にはトレー部12内のウェーハWの有無を検出する反射型センサ13を設けるとともに、トレー部12に反射型センサ13に対向する面を有する反射部12Cを設け、トレー部12の底にファイバセンサを埋め込む必要がなく、トレー部12の厚さを薄くすることができ、また安価に製造することができるようにした。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
ウェーハをウェーハカセットに搬入したりウェーハカセットから搬出したりするロボットハンドであって、ウェーハを前記ロボットハンドのトレー部に載置して搬送するトレー式ロボットハンドにおいて、 ロボットハンド基部と、 該ロボットハンドの先端部に形成されたトレー部とから構成され、 前記ロボットハンド基部には前記トレー部内のウェーハの有無を検出する反射型センサが設けられるとともに、前記トレー部には前記反射型センサに対向する面を有する反射部が設けられていることを特徴とするトレー式ロボットハンド。
IPC (3件)：
H01L21/68 ,  B25J15/08 ,  B65G49/07
FI (4件)：
H01L21/68 A ,  B25J15/08 U ,  B25J15/08 Z ,  B65G49/07 E
Fターム (22件)：
3C007AS03 ,  3C007AS24 ,  3C007DS01 ,  3C007ES17 ,  3C007KS30 ,  3C007KV12 ,  3C007KX08 ,  3C007NS07 ,  5F031CA02 ,  5F031FA01 ,  5F031FA07 ,  5F031GA06 ,  5F031GA36 ,  5F031GA38 ,  5F031GA43 ,  5F031GA45 ,  5F031JA06 ,  5F031JA07 ,  5F031JA22 ,  5F031KA03 ,  5F031KA11 ,  5F031PA07
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (5件)
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