特許

J-GLOBAL ID：200903086032251878

共重合体およびそれを用いた感放射線性樹脂組成物

発明者： 清水 大輔 ,  矢田 勇二 ,  永井 智樹
出願人/特許権者： JSR株式会社
代理人 (1件)： 和気 操
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-088148
公開番号（公開出願番号）：特開2005-258362
出願日： 2004年03月25日
公開日（公表日）： 2005年09月22日
要約：

【課題】パターン形状、ドライエッチング耐性、耐熱性等のレジストとしての基本物性を損なうことなく、ラインエッジラフネス、焦点深度余裕に優れる。【解決手段】式(1)〜式(3)で表される繰返し単位を含有し、ポリスチレン換算重量平均分子量が3,000〜100,000である。 式(1)〜(3)において、R1、R1'およびR1''はそれぞれ水素またはメチル基を表し、R2〜R4はそれぞれ1価の有機基を表し、jおよびkは1または2であり、mおよびnはそれぞれ0〜4の整数であり、pは0〜2の整数であり、qは1〜3の整数である。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

下記式(1)で表される繰返し単位、式(2)で表される繰返し単位および式(3)で表される繰返し単位を含有し、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)で測定したポリスチレン換算重量平均分子量が3,000〜100,000である共重合体。

IPC (4件)：

G03F7/039 ,  C08F212/14 ,  G03F7/033 ,  H01L21/027

FI (4件)：

G03F7/039 601 ,  C08F212/14 ,  G03F7/033 ,  H01L21/30 502R

Fターム (30件)：

2H025AA03 ,  2H025AA09 ,  2H025AA10 ,  2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025CB14 ,  2H025CB16 ,  2H025CB17 ,  2H025CB41 ,  2H025CB45 ,  2H025CB55 ,  2H025CB56 ,  2H025FA17 ,  4J100AB07P ,  4J100AL08Q ,  4J100AL08R ,  4J100BA03P ,  4J100BC03Q ,  4J100BC03R ,  4J100BC04Q ,  4J100BC04R ,  4J100CA05 ,  4J100DA01 ,  4J100JA37 ,  4J100JA38

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 特公平2-27660号公報
  
• 特許第3072316号公報
  
• ポジ型レジスト組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-154908   出願人：東京応化工業株式会社