特許

J-GLOBAL ID：200903086090266656

電動機装置及びエキシマレーザ装置

発明者： 大山 敦 ,  関口 信一 ,  茨田 敏光 ,  河嶌 浩康
出願人/特許権者： 株式会社荏原製作所 ,  株式会社荏原電産
代理人 (1件)： 熊谷 隆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-141742
公開番号（公開出願番号）：特開2002-345210
出願日： 2001年05月11日
公開日（公表日）： 2002年11月29日
要約：

【要約】【課題】 電動機の冷却ジャケットを該電動機の冷却と駆動制御装置の発熱部の冷却に共用化することにより、装置全体の小型化・冷却の低コスト化を図ることができる電動機装置及び該電動機装置をレーザガス攪拌ファンの駆動用に用いたエキシマレーザ装置を提供すること。【解決手段】 レーザ発振チャンバ30、該レーザ発振チャンバ30内に配置したガス攪拌ファン31、該ガス攪拌ファン31を駆動するためのファン駆動用電動機33及び該ファン駆動用電動機33に駆動電力を供給すると共に該ファン駆動用電動機33を制御するインバータ装置37を具備するエキシマレーザ装置において、ファン駆動用電動機33は冷却するための冷却ジャケット36を有し、該冷却ジャケット36とインバータ装置37の発熱部とを熱的に結合する熱的結合部を設けた。

請求項（抜粋）：

電動機と、該電動機に駆動電力を供給すると共に該電動機を制御する駆動制御装置を具備する電動機装置において、前記電動機は冷却するための冷却ジャケットを有し、該冷却ジャケットと前記駆動制御装置の発熱部とを熱的に結合する熱的結合部を設けたことを特徴とする電動機装置。

IPC (4件)：

H02K 9/19 ,  H01S 3/225 ,  H02K 9/02 ,  H02K 11/00

FI (4件)：

H02K 9/19 A ,  H02K 9/02 B ,  H02K 11/00 X ,  H01S 3/223 E

Fターム (21件)：

5F071AA06 ,  5F071EE04 ,  5F071JJ05 ,  5H609BB01 ,  5H609BB15 ,  5H609PP02 ,  5H609PP05 ,  5H609PP16 ,  5H609QQ04 ,  5H609QQ13 ,  5H609QQ23 ,  5H609RR26 ,  5H609RR37 ,  5H609RR42 ,  5H609RR69 ,  5H609RR73 ,  5H611AA09 ,  5H611BB01 ,  5H611BB04 ,  5H611PP01 ,  5H611UA04

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 電気自動車のモータユニット構造
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-238472   出願人：マツダ株式会社
• 回転電気機械
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-145394   出願人：株式会社日立製作所
• エキシマレーザ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-113972   出願人：株式会社荏原製作所, 株式会社荏原電産