特許

J-GLOBAL ID：200903086124915357

薄膜圧電共振子、それを用いたフィルタ及びデュプレクサ並びに薄膜圧電共振子の製造方法

発明者： 郡司 勝彦 ,  小室 栄樹 ,  武石 卓 ,  伊村 正明 ,  ロジャー ウイリアム ホワットモア ,  ジョセフ エドワード アルバート ソーシン
出願人/特許権者： TDK株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-282727
公開番号（公開出願番号）：特開2004-120494
出願日： 2002年09月27日
公開日（公表日）： 2004年04月15日
要約：

【課題】本発明は挿入損失の低い又はリップルの小さい薄膜共振子、フィルタ、デュプレクサ及びその製造方法を提供するものである。【解決手段】圧電性を有する圧電薄膜と前記圧電薄膜の両面に配置され、前記圧電薄膜に対して励振用電圧を印加するための上部電極および下部電極を有する薄膜圧電共振子であって、上部電極及び下部電極は共振部と取り出し部とからなり、少なくとも上部電極又は下部電極の何れかの取り出し部の少なくとも一部の電極厚みが、この取り出し部と連続して形成される共振部の電極厚みよりも厚いことを特徴とする薄膜圧電共振子。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

圧電性を有する圧電薄膜と前記圧電薄膜の両面に配置され、前記圧電薄膜に対して励振用電圧を印加するための上部電極および下部電極を有する薄膜圧電共振子であって、上部電極及び下部電極は共振部と取り出し部とからなり、少なくとも上部電極又は下部電極の何れかの取り出し部の少なくとも一部の電極厚みが、この取り出し部と連続して形成される共振部の電極厚みよりも厚いことを特徴とする薄膜圧電共振子。

IPC (4件)：

H03H9/17 ,  H03H3/02 ,  H03H9/58 ,  H03H9/70

FI (4件)：

H03H9/17 F ,  H03H3/02 B ,  H03H9/58 A ,  H03H9/70

Fターム (7件)：

5J108AA07 ,  5J108BB07 ,  5J108CC11 ,  5J108FF05 ,  5J108FF07 ,  5J108KK02 ,  5J108MM14

引用特許：

審査官引用 (3件)

• フィルタの改善
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2001-586774   出願人：TDK株式会社
• 圧電振動子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-144161   出願人：東洋通信機株式会社
• 圧電薄膜振動子およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-101960   出願人：株式会社村田製作所