特許

J-GLOBAL ID：200903086137436563

試料を走査するための方法および装置

発明者： ヨハン、エンゲルハルト
出願人/特許権者： ライカ マイクロシステムズ ハイデルベルク ゲーエムベーハー
代理人 (1件)： 木村 高久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-135233
公開番号（公開出願番号）：特開2002-006256
出願日： 2001年05月02日
公開日（公表日）： 2002年01月09日
要約：

【要約】【課題】外部の影響を受けている最中または受けた直後に測定動作を起動するため、時間に関して可能な限り正確に(最大可能なタイミング精度で)、光源の光ビームを用いて試料を走査する方法および装置を提供する。【解決手段】本発明は、好ましくは共焦点走査型顕微鏡法において、光源(3)の光ビーム(2)を用いて、試料(1)を走査するための方法および装置に関し、光ビーム(2)がビーム偏向装置(4)を用いて偏向され、走査動作が制御装置(5)によって制御される方法および装置に関する。

請求項（抜粋）：

光源(3)の光ビーム(2)を用いて、試料(1)を走査するための方法であって、ビーム偏向装置(4)を用いて前記光ビーム(2)を偏向するステップと、制御装置(5)によって走査動作を制御するステップと、少なくとも1つの明確に定めることができる走査位置(10)の関数として、前記制御装置(5)によって少なくとも1つの信号(11)を発生するステップであって、前記明確に定めることができる走査位置(10)の局所座標が、検出される試料に基づいて自動的に規定され、好ましくはディジタル形式で前記制御装置(5)に伝送されるステップと、それによって前記試料(1)に作用するステップおよび/または測定動作を起動するステップと、を含む方法。

IPC (3件)：

G02B 26/10 104 ,  G02B 21/00 ,  G02B 21/36

FI (3件)：

G02B 26/10 104 Z ,  G02B 21/00 ,  G02B 21/36

Fターム (11件)：

2H045AB13 ,  2H045AB54 ,  2H045BA13 ,  2H045DA31 ,  2H052AA08 ,  2H052AC04 ,  2H052AC15 ,  2H052AC27 ,  2H052AF14 ,  2H052AF17 ,  2H052AF21

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 試料観察方法及びその装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-330567   出願人：オリンパス光学工業株式会社
• 光走査型顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-182803   出願人：株式会社ニコン