高周波振動子及びその製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：上柳雅誉 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-035726
公開番号（公開出願番号）：特開2002-246873
出願日： 2001年02月13日
公開日（公表日）： 2002年08月30日
要約：

【要約】【課題】主振動に対してスプリアスの原因となる厚み滑り副振動を抑制して安定な周波数を得ることができる高周波振動子及びその製造方法を提供する。【解決手段】ATカット水晶基板11における中央部の励振部形成領域13を化学的にエッチングして基本波周波数が80MHz以上となる薄肉状の励振部を形成した逆メサ構造を有する高周波振動子の製造方法において、前記励振部形成領域にエッチング液をジェット噴射により吹き付けて凹レンズ状窪みを形成する工程と、励振部形成領域13全体を均一に化学的エッチングして基本周波数が80MHz以上となるように厚み調整する工程との何れか一方の工程を先に行い、他方の工程を後から行うことにより凹レンズ状曲面2aを有する励振部2を形成し、次いで励振部2に主電極3F,3Rを形成する。

請求項（抜粋）：

ATカット水晶基板の中央部を化学的にエッチングして基本波周波数が80MHz以上となる薄肉状の励振部を形成した逆メサ構造を有する高周波振動子において、前記励振部の表裏何れか一方を凹レンズ状曲面に形成し、該励振部上に主電極を形成したことを特徴とする高周波振動子。

IPC (2件)：

H03H 9/19 , H03H 3/02

FI (2件)：

H03H 9/19 E , H03H 3/02 B

Fターム (8件)：

5J108AA03 , 5J108BB02 , 5J108CC04 , 5J108CC08 , 5J108DD02 , 5J108KK01 , 5J108MM11 , 5J108MM14

引用特許：

審査官引用 (7件)

超薄板圧電共振子素板の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-058115 出願人：東洋通信機株式会社
特開昭53-071595
特開昭53-012292

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