特許
J-GLOBAL ID：200903086155408801
熱電材料の作製方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
北村 修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-190414
公開番号（公開出願番号）：特開平9-097931
出願日： 1996年07月19日
公開日（公表日）： 1997年04月08日
要約：
【要約】【課題】 歩留まりの問題を解消するとともに、グレイン構造を取るものにあっても、不純物の混入を避けられるとともに、結晶グレイン構造を制御することで、格子による熱伝導を低減させることができ、高い性能指数を有する熱電材料を得ることができる熱電材料の作製方法を得る。【解決手段】 レーザーアブレーションにより熱電材料を作製する。
請求項（抜粋）：
ビスマス、テルル、アンチモン、セレンから選択される少なくとも2種以上の成分を含む熱電材料を作製する熱電材料の作製方法であって、前記2種以上の成分を所定の組成比で含有するターゲット(10)を作製するとともに、減圧真空維持される成膜室(6)内に、前記ターゲット(10)を成膜対象の基板(3)に対向して配設し、前記ターゲット(10)にレーザー光(5)を照射して前記ターゲット(10)よりプルーム(15)を発生させて前記基板(3)上に蒸着させて、レーザーアブレーション法により前記基板(3)上に前記熱電材料を作製する熱電材料の作製方法。
IPC (3件)：
H01L 35/34
, C23C 14/28
, H01L 35/16
H01L 35/34
, C23C 14/28
, H01L 35/16
