走査型プローブ顕微鏡

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：若林忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-051738
公開番号（公開出願番号）：特開平7-260803
出願日： 1994年03月23日
公開日（公表日）： 1995年10月13日
要約：

【要約】【目的】試料に損傷を与えることなく、かつ、走査型プローブ顕微鏡の部品への熱的影響が少ない状態で、汚染物質の悪影響を排除することのできる走査型プローブ顕微鏡を実現することを目的とする。【構成】プローブ電極を試料に対して相対的に2次元走査した際に、該プローブ電極と試料との間に物理的相互作用により生じる信号を利用して該試料を観察する走査型プローブ顕微鏡において、試料を局所的に加熱する加熱手段を有することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

プローブ電極を試料に対して相対的に2次元走査した際に、該プローブ電極と試料との間に物理的相互作用により生じる信号を利用して該試料を観察する走査型プローブ顕微鏡において、試料を局所的に加熱する加熱手段を有することを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。

IPC (4件)：

G01N 37/00 , G01B 21/30 , H01J 37/20 , H01J 37/28

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平2-287246
特開平3-098244
特開平4-326007

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