特許
J-GLOBAL ID：200903086176447840

放電の始動方法、この始動方法を利用した被処理物の処理方法、及びこの始動方法を利用した被処理物の処理装置

発明者：
板谷 良平

板谷 良平 について

, 
出口 幹雄

出口 幹雄 について

, 
戸田 敏彦

戸田 敏彦 について


出願人/特許権者：
ユースエンジニアリング株式会社

ユースエンジニアリング株式会社 について


代理人 (3件)： 清水 善▲廣▼ ,  阿部 伸一 ,  辻田 幸史
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-381480
公開番号（公開出願番号）：特開2004-209373
出願日： 2002年12月27日
公開日（公表日）： 2004年07月29日
要約：
【課題】放電始動時又は再始動時に、プラズマを容易に発生させることができる放電の始動方法、この放電の始動方法を利用した被処理物の処理方法、及びこの始動方法を利用した被処理物の処理装置を提供すること。【解決手段】管状の細長い反応流路の外周から溢流することによって前記反応流路中に一様な水膜を作り、気中にある高圧電極と水膜中にある接地電極との間に放電を起こさせる放電の始動方法であって、放電の開始時又は再点弧時に、前記高圧電極と前記反応流路内の水膜中にある接地電極との間に、一旦電解液による低抵抗の電流路を形成した後に、この電解液の供給を停止して、前記高圧電極と接地電極との間の電流路を遮断することによって、所定長さの放電の開始または再点弧を行わせることを特徴とする放電の始動方法。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
管状の細長い反応流路の外周から溢流することによって前記反応流路中に一様な水膜を作り、気中にある高圧電極と水膜中にある接地電極との間に放電を起こさせる放電の始動方法であって、放電の開始時又は再点弧時に、前記高圧電極と前記反応流路内の水膜中にある接地電極との間に、一旦電解液による低抵抗の電流路を形成した後に、この電解液の供給を停止して、前記高圧電極と接地電極との間の電流路を遮断することによって、所定長さの放電の開始または再点弧を行わせることを特徴とする放電の始動方法。
IPC (6件)：
B01D53/70 ,  B01D53/68 ,  B01J19/08 ,  H01L21/3065 ,  H05H1/32 ,  H05H1/42
FI (6件)：
B01D53/34 134E ,  B01J19/08 E ,  H05H1/32 ,  H05H1/42 ,  H01L21/302 101G ,  B01D53/34 134C
Fターム (33件)：
4D002AA01 ,  4D002AA21 ,  4D002AA22 ,  4D002AC10 ,  4D002BA02 ,  4D002BA07 ,  4D002CA04 ,  4D002DA35 ,  4G075AA03 ,  4G075AA37 ,  4G075BA05 ,  4G075BB04 ,  4G075BD13 ,  4G075BD22 ,  4G075BD26 ,  4G075CA17 ,  4G075CA47 ,  4G075CA51 ,  4G075DA02 ,  4G075EB21 ,  4G075EC21 ,  5F004AA16 ,  5F004BA20 ,  5F004BB32 ,  5F004DA00 ,  5F004DA01 ,  5F004DA05 ,  5F004DA06 ,  5F004DA07 ,  5F004DA08 ,  5F004DA14 ,  5F004DA15 ,  5F004DA16
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (1件)

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