スキャニング装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：伊藤洋二 , 三浦高広 , 水野史博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-011464
公開番号（公開出願番号）：特開2006-201350
出願日： 2005年01月19日
公開日（公表日）： 2006年08月03日
要約：

【課題】 MEMS型のスキャニング装置において、ミラーの振れ角を大きくすることなく、ミラーによるビームの走査範囲を大きくする。【解決手段】基材にバネ部を介して連結されたミラー10と、ミラー10の反射面11にビームLBを入射する光源50とを備え、ミラー10は、光源50からのビームLBを反射するとともに、力を印加したときにバネ部の弾性力によって矢印Y1方向に回転振動するようになっているスキャニング装置において、ミラー10の反射面11は、角度の異なるミラー面11a、11bを複数有して構成されたものであり、光源50からのビームが、角度の異なるミラー面11a、11bにて同時に反射するようになっている。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

基材(20)にバネ部(30)を介して連結されたミラー(10)と、前記ミラー(10)の反射面(11)にビームを入射する光源(50)とを備え、前記ミラー(10)は、前記光源(50)からのビームを反射するとともに、力を印加したときに前記バネ部(30)の弾性力によって回転振動するようになっているスキャニング装置において、前記ミラー(10)の反射面(11)は、角度の異なるミラー面(11a、11b)を複数有して構成されたものであり、前記光源(50)からのビームが、前記角度の異なるミラー面(11a、11b)にて同時に反射するようになっていることを特徴とするスキャニング装置。

IPC (3件)：

G02B 26/10 , B41J 2/44 , H04N 1/113

FI (3件)：

G02B26/10 104 , B41J3/00 D , H04N1/04 104Z

Fターム (14件)：

2C362BA17 , 2H045AB02 , 2H045BA21 , 2H045CB65 , 2H045DA02 , 5C072AA05 , 5C072BA01 , 5C072BA20 , 5C072DA04 , 5C072HA02 , 5C072HA06 , 5C072HA08 , 5C072HA14 , 5C072XA10

引用特許：

出願人引用 (1件)

光デバイス及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-107211 出願人：日本電気株式会社

審査官引用 (1件)

反射型走査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-137706 出願人：日本信号株式会社

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