特許
J-GLOBAL ID：200903084322735760
光デバイス及びその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
藤巻 正憲
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-107211
公開番号（公開出願番号）：特開2003-302586
出願日： 2002年04月09日
公開日（公表日）： 2003年10月24日
要約：
【要約】【課題】 ミラーの平坦性及び平滑性を十分確保し、かつ、バネ剛性も小さくすることにより、低挿入損失及びポート数の大規模化、低電圧駆動、更にはミラー駆動の高精度化を実現することができる光デバイス及びその製造方法を提供する。【解決手段】 電極基板3上に複数個の電極パッド2が形成され、電極基板3の上方に電極パッド2との間に間隙を有して可動ミラー1が配置されている。電極基板3上には支柱6とアンカー7が設けられており、フレーム9は、バネ8aを介してアンカー7により支持されている。また、フレーム9の中央部はくりぬかれた形状を有し、このフレーム9の中央部に配置された可動ミラー1がフレーム9にバネ8bを介して支持されている。可動ミラー1の厚さをtm、バネ8a、8bの厚さをtsとすると、tm>tsである。
請求項（抜粋）：
電極基板と、この電極基板上に形成された電極パッドと、前記電極基板の上方に前記電極パッドとの間に間隙を有して配置された可動ミラーと、前記電極基板上に設けられた支持部と、前記可動ミラーと前記支持部とを連結して前記可動ミラーを支持する複数個のバネとを有し、前記可動ミラーの厚さtmと、前記バネの厚さtsがtm>tsであることを特徴とする光デバイス。
IPC (3件)：
G02B 26/08
, B81B 3/00
, B81C 1/00
G02B 26/08 E
, B81B 3/00
, B81C 1/00
2H041AA16
, 2H041AB14
, 2H041AC04
, 2H041AZ01
, 2H041AZ08
