特許
J-GLOBAL ID：200903013597900740
薄板用支持容器
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
工藤 宣幸 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-098972
公開番号（公開出願番号）：特開平7-307379
出願日： 1994年05月12日
公開日（公表日）： 1995年11月21日
要約：
【要約】【目的】 弱い力でウエハ17を長期間確実に支持し、ウエハ17が押え部材22間に嵌まり込むのを防ぐ。【構成】 ケース本体12とカセット13と蓋体14と薄板押え部材15とを備えた薄板用支持容器11である。薄板押え部材15はウエハ17を1枚ずつ支持する押え帯23を並列に多数配設して構成する。押え帯23は波形の弾性板材で成形する。押え帯23の2つの波の頂点位置24,25にはウエハ17を支持する薄板支持部24A,25Aを設ける。薄板支持部24A,25Aの幅は押え帯23の並びにおいて交互に異ならせ、ウエハ17が各押え帯23間の隙間に嵌まり込むのを防ぐ。嵌合部28の嵌合板32はケース本体12と一体的に成形し、その接続部分を肉薄にして回動可能にしている。嵌合板32の裏面にはこの嵌合板32を付勢する舌状板33を一体成形している。
請求項（抜粋）：
ケース本体と、このケース本体に収納され多数の薄板を並列状態で支持するカセットと、前記ケース本体内にカセットを収納した状態でこのケース本体を塞ぐ蓋体と、この蓋体の内側に装着され前記カセットに収納支持された薄板をその上側から押えて支持する薄板押え部材とを備えた薄板用支持容器において、前記薄板押え部材が、前記薄板の周縁部に当接して各薄板を1枚ずつ支持する押え帯を並列に多数配設して構成され、各押え帯が波形の弾性板材で成形されたことを特徴とする薄板用支持容器。
IPC (2件)：
引用特許：
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