特許

J-GLOBAL ID：200903086212807149

形状転写用金型、それを用いた製品の製造方法及び得られる微細形状をもつ製品

発明者： 藤村 康浩
出願人/特許権者： リコー光学株式会社
代理人 (1件)： 野口 繁雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-170802
公開番号（公開出願番号）：特開2005-349619
出願日： 2004年06月09日
公開日（公表日）： 2005年12月22日
要約：

【課題】 複数個の製品分のパターンを高精度に配置した金型を歩留まりよく得る。 【解決手段】 ベース基板10は円板状のガラス基板で平坦で互いに平行な表面と裏面をもっている。その中央部に4つのテンプレート12が配置されている。テンプレート12もガラス製であり、形状は正方形で、それぞれ平坦で互いに平行な表面と裏面をもっており、表面には転写しようとする微細形状が形成されている。テンプレート12は裏面側でベース基板10の表面にフッ酸接合法により直接接合されて固着されている。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

転写形状を表面に有する複数個のテンプレートがベース基板の平面上に配置され、それらのテンプレートの裏面が前記ベース基板に固着され、かつそれらのテンプレートの表面が同一高さになっていることを特徴とする形状転写用金型。

IPC (4件)：

B29C33/38 ,  B29C59/00 ,  B81C5/00 ,  H01L21/027

FI (4件)：

B29C33/38 ,  B29C59/00 C ,  B81C5/00 ,  H01L21/30 502D

Fターム (30件)：

4F202AA43 ,  4F202AA44 ,  4F202AF01 ,  4F202AH33 ,  4F202AJ06 ,  4F202CA07 ,  4F202CB01 ,  4F202CD23 ,  4F202CD24 ,  4F202CD30 ,  4F202CK27 ,  4F209AC03 ,  4F209AD08 ,  4F209AF00 ,  4F209AF01 ,  4F209AG01 ,  4F209AG03 ,  4F209AG05 ,  4F209AH33 ,  4F209AH53 ,  4F209AJ06 ,  4F209PA02 ,  4F209PB01 ,  4F209PC03 ,  4F209PG01 ,  4F209PH02 ,  4F209PH27 ,  4F209PQ11 ,  4F209PW37 ,  5F046BA10

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 特開2002-391400号公報
  

審査官引用 (3件)

• スペーサ技術を用いるナノサイズインプリント用スタンプ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-018275   出願人：ヒューレット・パッカード・カンパニー
• 多面付けスタンパーの作製方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-181158   出願人：大日本印刷株式会社
• 面状光源及びその成形金型の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-207139   出願人：日立マクセル株式会社