特許
J-GLOBAL ID：200903086260146600
集積化ガス制御装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三宅 景介
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-309584
公開番号（公開出願番号）：特開平10-300000
出願日： 1997年10月24日
公開日（公表日）： 1998年11月13日
要約：
【要約】【課題】 ガス制御ラインの縮小化による内容積の減少、ガス制御機器の容易な着脱によるメンテナンス性の向上、標準化した構成パーツによる高自由度な流路設計、トータル製作リードタイムの短縮、流路変更に対する置換性、応答性等の向上を図る。【解決手段】 流路ブロック29は、上部に上向き開口の円形の取付け穴30を有し、取付け穴30の底面に開口したガス流入通路32とガス流出通路33を有する。隣接する流路ブロック29を順次メタルガスケット40の介在によりガス流出通路23とガス流入通路32を連通するように接続すると共に、多数並設されるガス供給制御ライン20に沿ってベースプレート1に取付ける。各流路ブロック29の取付け穴30に縦型に構成した自動ダイヤフラム弁21等の所望のガス制御機器のボディ48をガスケット59の介在により挿入する。ボディ48に嵌合した接続筒62を流路ブロック29に螺着し、ガス制御機器を流路ブロック29に着脱可能に接続する。
請求項（抜粋）：
ベースプレートと、上部に上向き開口の取付け穴を有し、この取付け穴の底面に開口する第1のガス通路及び第2のガス通路を有し、前記ベースプレート上に複数列で取り付けられる複数個の流路ブロックと、これらの隣接する流路ブロックの端部同士を前記第2のガス通路と前記第1のガス通路とが連通するシール状態で分離可能に接続するシール手段及び接続手段と、縦型に構成され、前記各流路ブロックの取付け穴に挿入される下部のボディに第1のガス通路及び第2のガス通路を有する複数種のガス制御機器と、これらのガス制御機器のボディの外周に設けられ、ねじを有する接続筒と、前記流路ブロックに形成され、前記の所望のガス制御機器のボディを前記流路ブロックの取付け穴に挿入した状態で前記接続筒を螺着してガス制御機器を流路ブロックに接続することができるねじと、前記ガス制御機器と流路ブロックの接続に際し、これらガス制御機器及び流路ブロックの第1のガス通路同士と第2のガス通路同士を連通させた状態でこれらガス制御機器、流路ブロック間をシールするシール手段とを備えた集積化ガス制御装置。
IPC (5件)：
F17D 1/04
, F16K 27/00
, F16L 41/03
, F16L 41/08
, H01L 21/205
F17D 1/04
, F16K 27/00 C
, F16L 41/08
, H01L 21/205
, F16L 41/02 A
