特許
J-GLOBAL ID:200903086280514257
超音波センサ
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (1件):
田下 明人
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-042449
公開番号(公開出願番号):特開2006-094459
出願日: 2005年02月18日
公開日(公表日): 2006年04月06日
要約:
【課題】外力が加わっても破損し難く丈夫な超音波センサを提供する。【解決手段】各圧電式受信素子11が形成された基板12の前方側には保護膜14が設けられ、その保護膜14と基板12との間には空隙Sが設けられている。そのため、超音波センサの受信部10に外力が加わっても、その外力は保護膜14に印加されるだけで、基板12上に形成された圧電素子を構成する薄い各層(上部電極層、強誘電体の薄膜層、下部電極層)には外力が直接印加されず、各層の機械的強度が低い場合でもその破損を防止して受信部10を故障し難くできる。空隙Sに液体,ゾル,ゲルなどの充填材料を充填した場合には、その充填材料の音響インピーダンスを保護膜14の音響インピーダンスに近づけることにより、保護膜14の振動を当該充填材料を介して各受信素子11へ確実に伝搬させることが可能になり、各受信素子11の受信感度を高めることができる。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
受信した超音波を電気信号に変換するか又は電気信号を超音波に変換して発信する複数個の変換手段と、
その複数個の変換手段は並べて配置されていることと、
前記各変換手段を保護するための保護手段と
を備えたことを特徴とする超音波センサ。
IPC (2件):
FI (5件):
H04R17/00 332A
, H04R17/00 330G
, H04R17/00 330H
, H04R17/00 330J
, G01S7/52 A
Fターム (15件):
5D019AA16
, 5D019AA20
, 5D019EE01
, 5D019EE02
, 5D019GG06
, 5J083AC18
, 5J083AC31
, 5J083AC40
, 5J083AF07
, 5J083CA12
, 5J083CA15
, 5J083CA34
, 5J083CA35
, 5J083CB01
, 5J083CB30
引用特許: