特許
J-GLOBAL ID：200903086283555396
微動位置決め制御装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-132404
公開番号（公開出願番号）：特開平7-319548
出願日： 1994年05月24日
公開日（公表日）： 1995年12月08日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 動作安定範囲を拡大して位置のループゲインを高め、もって振動などの外乱が発生する部位に微動位置決め機構を据え付けた場合においても整定性を改善する。【構成】 基板の加速度を計測する少なくとも1個の第1の加速度センサ9の出力を電気信号に変換する第1の加速度増幅器10と、微動位置決め機構を支持する定盤14の加速度を計測する少なくとも1個の第2の加速度センサ13と、第2の加速度センサの出力を電気信号に変換する第2の加速度増幅器11と、第1の加速度増幅器の出力と第2の加速度増幅器の出力とを比較して基板と定盤間の相対加速度信号をした後前記相対加速度信号に対するフィルタリングを行なうとともにゲイン調整機能を有するローパスフィルタ12からなり、ローパスフィルタの出力を電流出力型の電力増幅器の前段にフィードバックする第2のフィードバック装置を設ける。
請求項（抜粋）：
位置決め対象基板を駆動する複数個のアクチュエータと、前記基板の移動距離を計測する複数個の位置センサとを備えた微動位置決め機構、および前記位置センサの出力を電気信号に変換する変位増幅器と、前記変位増幅器の出力を指令電圧入力端子に印加される指令電圧を比較して偏差信号を取得し各偏差信号を所定の感度となす偏差増幅器と、前記偏差増幅器の出力に対してゲイン調整を行なうゲイン補償器と、前記ゲイン補償器の出力に応動して前記アクチュエータを駆動する電流出力型の電力増幅器とを備えた第1のフィードバック装置を具備する微動位置決め制御装置において、前記基板の加速度を計測する少なくとも1個の第1の加速度センサと、第1の加速度センサの出力を電気信号に変換する第1の加速度増幅器と、前記微動位置決め機構を支持する定盤の加速度を計測する少なくとも1個の第2の加速度センサと、第2の加速度センサの出力を電気信号に変換する第2の加速度増幅器と、第1の加速度増幅器の出力と第2の加速度増幅器の出力とを比較して前記基板と前記定盤間の相対加速度信号をした後前記相対加速度信号に対するフィルタリングを行なうとともにゲイン調整機能を有するローパスフィルタとを備え、前記ローパスフィルタの出力を前記電流出力型の電力増幅器の前段にフィードバックする第2のフィードバック装置を設けたことを特徴とする微動位置決め制御装置。
IPC (6件)：
G05D 3/12 305
, B23Q 15/26
, B23Q 16/02
, G05D 3/00
, H01L 21/027
, H01L 21/68
