特許

J-GLOBAL ID：200903086302303050

外観検査装置

発明者： 永見 理
出願人/特許権者： オリンパス株式会社
代理人 (1件)： 大菅 義之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-299414
公開番号（公開出願番号）：特開2009-122078
出願日： 2007年11月19日
公開日（公表日）： 2009年06月04日
要約：

【課題】外観検査装置において、検査対象物の搬送位置上方のスペースを確保すると共に、装置の小型化を図る。【解決手段】検査対象物に照明光を照射する照明部(35)、この照明部(35)により照明光を照射された検査対象物を撮像する撮像部(26)、及び、検査対象物を載置して検査を行うためのステージ(30)、を有する検査部(2)と、検査対象物を、ステージ(30)に受け渡すと共にステージ(30)から受け取るための搬送部(29)と、を備える外観検査装置において、撮像部(33)の光軸は、検査対象物から撮像部(33)へ向う光路中でミラーにより搬送部(29)から離れる方向に偏向されている構成とする。【選択図】図5

請求項（抜粋）：

検査対象物に照明光を照射する照明部、該照明部により照明光を照射された検査対象物を撮像する撮像部、及び、前記検査対象物を載置して検査を行うためのステージ、を有する検査部と、 前記検査対象物を、前記ステージに受け渡すと共に該ステージから受け取るための搬送部と、 を備える外観検査装置において、 前記撮像部の光軸は、前記検査対象物から前記撮像部へ向う光路中でミラーにより前記搬送部から離れる方向に偏向されている、 ことを特徴とする外観検査装置。

IPC (2件)：

G01N 21/956 ,  G01N 21/84

FI (2件)：

G01N21/956 A ,  G01N21/84 E

Fターム (10件)：

2G051AA51 ,  2G051AB02 ,  2G051AB08 ,  2G051BA01 ,  2G051BB01 ,  2G051BB05 ,  2G051BB17 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051DA03

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 国際公開第03/027652号パンフレット
  

審査官引用 (1件)

• 表面検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2006-120943   出願人：オリンパス株式会社