ペリクル装着治具、ペリクル装着方法及びペリクル装着構造並びにペリクル

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：荒井潤
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-003617
公開番号（公開出願番号）：特開2005-195992
出願日： 2004年01月09日
公開日（公表日）： 2005年07月21日
要約：

【課題】合成石英ガラスからなるペリクルをフォトマスクに装着する際にペリクル板のたわみ形状を変形させることなくフォトマスクに確実かつ容易に装着することが可能なペリクル装着治具、ペリクル装着方法並びにペリクル装着構造の提供を目的とする。【解決手段】合成石英ガラスからなるペリクル2の周縁を粘着剤3を介して押圧してフォトマスク1に装着し、一対の平行な押圧片8と押圧片8同士を連結する連結片9からなるペリクル装着治具4であって、前記ペリクル2は、矩形枠体のペリクルフレーム5と、これに貼り付けられる凸状に湾曲してたわんだ状態のペリクル板6からなり、前記一対の平行な押圧片8で、ペリクル2周縁部のうち前記たわみのない側の対向する2辺6bの周縁部を押圧し、前記連結片9はこの押圧時に前記ペリクル板6に非接触である。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

合成石英ガラスからなるペリクルの周縁を粘着剤を介して押圧してフォトマスクに装着し、一対の平行な押圧片と押圧片同士を連結する連結片からなるペリクル装着治具であって、前記ペリクルは、矩形枠体のペリクルフレームと、これに貼り付けられる凸状に湾曲してたわんだ状態のペリクル板からなり、前記一対の平行な押圧片でペリクル周縁部のうち前記たわみのない側の対向する2辺の周縁部を押圧し、前記連結片はこの押圧時に前記ペリクル板に非接触であることを特徴とするペリクル装着治具。

IPC (2件)：

G03F1/14 , H01L21/027

FI (3件)：

G03F1/14 J , G03F1/14 K , H01L21/30 502P

Fターム (4件)：

2H095BC31 , 2H095BC33 , 2H095BC36 , 2H095BC39

引用特許：

出願人引用 (1件)

ペリクル装着構造
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-360276 出願人：沖電気工業株式会社

前のページに戻る