特許

J-GLOBAL ID：200903086367746308

圧電アクチュエータ及びその製造方法

発明者： 木村 邦子 ,  小林 圭 ,  山田 啓文 ,  堀内 俊寿 ,  石田 謙司 ,  松重 和美 ,  森 ゆき子
出願人/特許権者： 国立大学法人京都大学 ,  合資会社京都インスツルメンツ
代理人 (1件)： 小林 良平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-255586
公開番号（公開出願番号）：特開2007-073553
出願日： 2005年09月02日
公開日（公表日）： 2007年03月22日
要約：

【課題】 変形量が大きく、且つ簡単な構造を有する圧電アクチュエータを提供する。 【解決手段】 圧電体の分子又は微結晶又は微粒子(分子等)を、配向領域14内において、電圧の印加により生じる伸縮の大きい方向が放射状に並ぶように配向させた圧電材料層11の上下に、1対の電極12及び13を設ける。この圧電アクチュエータは、電極間に電圧を印加すると、分子等がこの放射方向に伸びようとし、それにより中心付近が圧電材料層に垂直な方向に移動するように変形する。全ての分子がそろって放射方向に伸縮することから、変位量を大きくすることができる。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

圧電体の分子又は微結晶又は微粒子が所定の方向に配向している圧電材料層と、 前記圧電材料層の上下に設けた1対の電極層と、 を備えることを特徴とする圧電アクチュエータ。

IPC (5件)：

H01L 41/09 ,  G02B 26/08 ,  H01L 41/22 ,  H01L 41/193 ,  H01L 41/08

FI (7件)：

H01L41/08 C ,  G02B26/08 J ,  H01L41/08 J ,  H01L41/22 Z ,  H01L41/08 U ,  H01L41/18 102 ,  H01L41/08 H

Fターム (5件)：

2H041AA13 ,  2H041AB38 ,  2H041AC08 ,  2H041AZ05 ,  2H041AZ08

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 特開昭63-229401号公報(第2頁右下欄10行目〜第3頁右上欄18行目)
  
• 特開平1-235288号公報(第2頁左下欄8行目〜第2頁右下欄8行目)
  
• 薄膜及びその製造方法
  公報種別：再公表公報   出願番号：JP2003011670   出願人：合資会社京都インスツルメンツ

審査官引用 (8件)

• 圧電素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-302249   出願人：カシオ計算機株式会社
• 特開昭64-031481
  
• 圧電素子およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-093952   出願人：カシオ計算機株式会社
• 可変焦点光学装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-382781   出願人：石井明
• 光変調素子及び表示素子、並びに露光素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-220044   出願人：富士写真フイルム株式会社
• 光変調デバイス及び表示装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-280275   出願人：セイコーエプソン株式会社
• 特開昭64-031481
  
• 有機分子の薄膜製造方法および薄膜パターン製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-225153   出願人：三菱電機株式会社