特許
J-GLOBAL ID：200903086398187145

板状物に形成された電極の加工装置

発明者：
森 俊

森 俊 について

, 
波岡 伸一

波岡 伸一 について

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松谷 一弘

松谷 一弘 について


出願人/特許権者：
株式会社ディスコ

株式会社ディスコ について


代理人 (2件)： 小野 尚純 ,  奥貫 佐知子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-143198
公開番号（公開出願番号）：特開2005-327838
出願日： 2004年05月13日
公開日（公表日）： 2005年11月24日
要約：
【課題】 板状物の表面に突出して形成された複数個の電極を短絡させることなくその高さを容易に揃えることができるとともに、加工屑の板状物への付着および加工領域の汚染を防止できる加工装置を提供する。【解決手段】 板状物の表面に突出して形成された複数個の電極の高さを揃える加工装置であって、板状物を載置する載置面を備えたチャックテーブルと、加工域に配設されチャックテーブルに保持された板状物の表面に突出して形成された複数個の電極を切削し高さを揃える切削工具を備えた切削ユニットと、チャックテーブルに保持された板状物の加工面にエアーを噴出して加工面上の切削屑を吹き飛ばすエアー噴出手段と、エアー噴出手段から噴出されたエアーによって吹き飛ばされた切削屑を吸引する吸引手段とを具備している。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
板状物の表面に突出して形成された複数個の電極の高さを揃える加工装置であって、 被加工物搬入・搬出域と加工域との間を移動可能に構成され板状物を載置する載置面を備えたチャックテーブルと、該チャックテーブルを被加工物搬入・搬出域と加工域に移動せしめるチャックテーブル移動機構と、加工域に配設され該チャックテーブルに保持された板状物の表面に突出して形成された複数個の電極を切削し高さを揃える切削工具を備えた切削ユニットと、該切削ユニットを該チャックテーブルの該載置面と垂直な方向に進退せしめる切削ユニット送り機構と、該チャックテーブルに保持された板状物の加工面にエアーを噴出して該加工面上の切削屑を吹き飛ばすエアー噴出手段と、該エアー噴出手段から噴出されたエアーによって吹き飛ばされた切削屑を吸引する吸引手段と、を具備している、 ことを特徴とする板状物に形成された電極の加工装置。
IPC (1件)：
H01L21/60
FI (1件)：
H01L21/92 604A
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (4件)
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