特許
J-GLOBAL ID：200903086398936997
安定ガスフロー制御装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
青山 葆 (外2名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-505259
公開番号（公開出願番号）：特表2003-502772
出願日： 2000年06月21日
公開日（公表日）： 2003年01月21日
要約：
【要約】本発明は安定ガスフロー制御装置に関し、この装置は、入口チャンバ(2)と、出口チャンバ(3)と、入口および出口チャンバの境界を互いに定める可動壁(4)とを備え、可動壁がこれらのチャンバ間における連通を可能にする開口部(10)を有する。細長い部材(11)が可動壁の開口部の中央において移動方向に延び、可動壁の開口部が第1位置において細長い部材の第1端部に隣接して配置され、細長い部材が第1位置から第2位置に向かって徐徐に増大する断面の大きさを有し、可動壁の開口部の大きさが細長い部材の断面の大きさよりも大きい。可動壁を第1位置に向かって付勢するための螺旋ばね(12)が設けられ、可動壁に固定され、細長い部材の一部を包囲する開口部を含む本体部(5)が、可動壁の移動方向を規定する細長いガイド部材(6)と滑動可能に接続される。
請求項（抜粋）：
入口チャンバ(2)と、出口チャンバ(3)と、入口および出口チャンバ(2,3)の境界を互いに定める可動壁(4)とを備えた安定フロー制御装置であって、 可動壁(4)がこれらのチャンバ間における連通を可能にする開口部(10)を有し、 細長い部材(11)が可動壁(4)の開口部(10)の中央において移動方向に延び、 可動壁(4)の開口部(10)が第1位置において細長い部材(11)の第1端部に隣接して配置され、 細長い部材(11)が第1位置から第2位置に向かって徐徐に増大する断面の大きさを有し、 可動壁(4)の開口部(10)の大きさが細長い部材(11)の断面の大きさよりも大きく、さらに 可動壁(4)を第1位置に向かって付勢するための螺旋ばね(12)を有し、 可動壁(4)に固定され、細長い部材の一部を包囲する開口部(10)を含む本体部(5)が、可動壁(4)の移動方向を規定する細長いガイド部材(6)と滑動可能に接続されることを特徴とする安定フロー制御装置。
IPC (4件)：
G05D 16/06
, A61B 5/08
, G05D 7/01
, F16K 17/04
G05D 16/06 C
, A61B 5/08
, G05D 7/01 A
, F16K 17/04 H
3H059AA06
, 3H059BB06
, 3H059CA05
, 3H059CA13
, 3H059CA19
, 3H059CB14
, 3H059CB19
, 3H059CC11
, 3H059CC17
, 3H059CD05
, 3H059EE13
, 3H059FF04
, 3H059FF19
, 4C038SS04
, 4C038SU17
, 5H307AA14
, 5H307BB02
, 5H307DD07
, 5H307EE02
, 5H307EE09
, 5H307EE13
, 5H307JJ01
, 5H307KK01
, 5H307KK07
, 5H316AA13
, 5H316BB02
, 5H316EE02
, 5H316EE10
, 5H316EE13
, 5H316GG01
, 5H316GG11
, 5H316JJ01
, 5H316JJ11
, 5H316KK02
, 5H316KK10
審査官引用 (1件)
-
蒸気発生装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平7-234331
出願人：東芝機械株式会社
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