点集束型X線分光装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：杉本修司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-212078
公開番号（公開出願番号）：特開平11-052096
出願日： 1997年08月06日
公開日（公表日）： 1999年02月26日
要約：

【要約】【目的】分光素子全体を小型としながら、特定元素の分析精度を高め、かつ、微量元素の分析も良好に行え、さらに、X線のエネルギーを可変調整できる点集束型X線分光装置を提供する。【構成】分光素子2の軸方向に沿った分光素子2からX線発生源sおよび集光点fまでの各距離を等しく保ちながら、X線発生源sおよび支持台3を分光素子2に相対的に移動させる第1移動装置10と、X線発生源sからのX線aまたはcを絞って分光素子2の分光面2aに入射させる環状の第1スリット14aを複数有し、その直径が相違している第1絞り装置14と、分光素子2で分光した分光X線bまたはdを絞って集光点fに入射させる環状の第2スリット15aを複数有し、その直径が相違している第2絞り装置15と、各絞り装置14,15を駆動し、分光素子2からX線発生源sおよび集光点fまでの距離に対応した各スリット14a,15aを選択して配置するスリット交換装置16を設けた。

請求項（抜粋）：

点状のX線発生源から発生したX線を円筒形の分光素子により分光して分光X線を生成し、支持台に保持される入射対象物に前記分光X線を入射させるX線分光装置であって、前記分光素子の軸方向に沿った分光素子からX線発生源および集光点までの各距離を互いに等しく保ちながら、X線発生源および支持台を分光素子に対して相対的に前記軸方向に移動させる第1移動装置と、前記X線を絞って前記分光素子の内周の分光面に入射させる環状の第1スリットを複数有し、各スリットの少なくとも直径が互いに相違している第1絞り装置と、前記分光X線を絞って前記支持台の集光点に入射させる環状の第2スリットを複数有し、各スリットの少なくとも直径が互いに相違している第2絞り装置と、前記第1および第2絞り装置を駆動し、分光素子からX線発生源および支持台までの距離に対応した第1および第2スリットを選択して配置するスリット交換装置とを備えた点集束型X線分光装置。

IPC (3件)：

G21K 1/06 , G01J 3/12 , G01N 23/223

FI (3件)：

G21K 1/06 G , G01J 3/12 , G01N 23/223

引用特許：

審査官引用 (4件)

特公昭39-026936
特開平4-038500
特開平1-276100

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