特許

J-GLOBAL ID：200903086493364810

電気機械変換器

発明者： ギムゼフスキー、ジェームス、カジミエシ ,  シリットラー、レート、ルドルフ ,  ウエランド、マーク、エドワード
出願人/特許権者： インターナシヨナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーシヨン
代理人 (1件)： 合田 潔 (外2名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-509836
公開番号（公開出願番号）：特表平10-508431
出願日： 1994年09月12日
公開日（公表日）： 1998年08月18日
要約：

【要約】可動な可撓性素子(1〜10)と増幅器段(3〜7)を備え、増幅器段が前記素子中に組み込まれた、電気機械変換器が記述される。この変換器はさらに、増幅器段(3〜7)の入力信号としてたわみに依存する信号を生成する、圧電力材料(8)を含む。好ましい実施形態においては、可撓性素子は熱膨張係数の異なる材料の層(1、9)を含み、温度センサとしてのこのデバイスの感度が高くなっている。この新規デバイスは、原子間力顕微鏡などのローカル・プローブ顕微鏡、アクチュエータ、(化学)センサ、あるいは発振器に応用できる。

請求項（抜粋）：

少なくとも1つの可撓性素子(1〜10)と少なくとも1つの増幅回路(3〜7)とを備え、可撓性素子のたわみを測定するための電気機械変換器であって、増幅回路が可撓性素子内に組み込まれていることを特徴とする電気機械変換器。

IPC (6件)：

H01L 41/09 ,  G01B 21/30 ,  G01N 37/00 ,  H01L 29/786 ,  H01L 41/08 ,  H04R 17/00

FI (8件)：

H01L 41/08 C ,  G01B 21/30 Z ,  G01N 37/00 G ,  H04R 17/00 ,  H01L 41/08 M ,  H01L 41/08 Z ,  H01L 29/78 622 ,  H01L 29/78 613

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 圧電素子およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-353053   出願人：株式会社村田製作所
• 特開平4-184985
  
• 特開昭60-211986
  
• 特開昭59-124181