特許

J-GLOBAL ID：200903086494810694

平板状電子組立集合体のテスト装置

発明者： ブクス マンフレート ,  シャレル ペーテル ,  クリューゲル イェンス
出願人/特許権者： イーテーアー インジェニエォールビュロー フュール テストアウフガーベン ゲーエムベーハー
代理人 (1件)： 最上 健治
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-523220
公開番号（公開出願番号）：特表平10-513261
出願日： 1996年01月24日
公開日（公表日）： 1998年12月15日
要約：

【要約】本発明は、電子ボードアセンブリのためのテスト装置に関し、前記装置は、駆動装置よってアセンブリの全エリア内の表面に対して平行に配置することができる少なくとも1個のプローブを備えている。このテスト装置は、駆動装置が、他のプローブ駆動機構から独立して全ての方向について動作し、前記全エリアのうちのサブエリアにプローブを配置するプローブ駆動機構を備えていることを特徴としている。

請求項（抜粋）：

アセンブリの全エリア内において、駆動手段によって表面に平行に位置決め可能な、少なくとも1つのプローブ(32,45)を備えた、電子ボードアセンブリ(4,35)のためのテスト装置において、前記駆動手段は、他のプローブのプローブ駆動装置から独立してすべての移動座標(X,Y)において動作し、全エリアのうちのサブエリアにプローブを配置させるプローブ駆動装置(11)を備えていることを特徴とするテスト装置。

IPC (5件)：

G01R 31/28 ,  G01R 1/06 ,  G01R 31/02 ,  H01L 21/66 ,  H05K 3/34 512

FI (5件)：

G01R 31/28 K ,  G01R 1/06 E ,  G01R 31/02 ,  H01L 21/66 B ,  H05K 3/34 512 A

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 集積回路検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-316357   出願人：株式会社島津製作所