特許
J-GLOBAL ID：200903086504117496
信号の周期検出方法及びそれを用いた投影露光装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-081768
公開番号（公開出願番号）：特開平6-295855
出願日： 1993年04月08日
公開日（公表日）： 1994年10月21日
要約：
【要約】【目的】ウエハ上のフォトレジストの高さ・傾きを光学的手段によって検出し、ウェハステージを制御し解像度の高い露光を実現すること。【構成】可干渉光を大きい入射角で被検物に照射し反射光と参照光を干渉させ、その信号をFFTし、その結果のスペクトルのピーク位置と位相をピーク頂点近傍のスペクトルデータから内挿によって求め、被検物の高さ傾きを正確に求める。この高さ傾き検出機構を半導体露光装置に適用して、ウェハの焦点合せ制御を行う。【効果】本発明により徒区にμm以下のパターンがらなるLSIの縮小投影露光に際して、1μm以下の狭い焦点震度にたいし、ウェハ上の露光領域全面の高さ・傾きを検出して、ウェハ全面を高い解像度で確実に検出することが可能となる。
請求項（抜粋）：
周期的に変化する信号の当該周期を正確に検出する方法において、当該信号を離散的にフーリエ変換し、該信号の周期に相当するスペクトル近傍のサンプル点における最大値を与えるサンプル点とその両側の少なくともそれぞれ1点ずつの合計少なくとも3点のスペクトルデータから求めた近似曲線のピーク位置を求め、この値を真のピーク位置として、この値から周期的に変化する信号の周期を検出することを特徴とする信号の周期検出方法。
IPC (6件)：
H01L 21/027
, G01B 11/00
, G01B 11/26
, G01B 11/30
, G03F 7/20 521
, G03F 9/00
